公开(公告)号：CN107039309A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201611027478.9

申请日：2016-11-17

Applicant: 细美事有限公司 ,  世宗大学校产学协力团

Inventor： 柳钟珉 ,  李源晙 ,  徐承镐

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/687 ,  H01L21/67011 ,  H01L2221/67

Abstract: 本发明涉及卡盘销、制造卡盘销的方法和基板处理装置。根据本发明的实施方式，所述基板处理装置包括：容器，所述容器在其内侧具有处理空间；支撑单元，所述支撑单元在所述处理空间内支撑所述基板；和液体供应单元，所述液体供应单元向所述支撑单元的支撑基板提供溶液。所述支撑单元包括其上放置所述基板的支撑板和设置在所述支撑板上以支撑所述基板的侧面的卡盘销。所述卡盘销包括本体和在所述本体的表面上的第一涂膜，所述第一涂膜被设置为碳化硅材料。