电弧蒸发装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115261804A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202211005375.8

    申请日:2022-08-22

    IPC分类号: C23C14/32

    摘要: 一种电弧蒸发装置,包括阴极弧蒸发源、气体管道、第一磁场装置、第二磁场装置以及第三磁场装置。阴极弧蒸发源的表面包括环状凹槽结构。环状凹槽结构限制阴极弧弧斑的移动并容纳靶材液滴。气体管道嵌入阴极弧蒸发源。气体管道的管道出口设置在环状凹槽结构中。第一磁场装置设置于阴极弧蒸发源的第一侧并环绕所述气体管道,并且经配置以产生第一磁场。第二磁场装置设置于阴极弧蒸发源的第一侧并环绕第一磁场装置设置,并且经配置以产生第二磁场。第三磁场装置环绕阴极弧蒸发源、第一磁场装置和第二磁场装置设置,并且经配置以产生第三磁场。第一磁场和第二磁场的磁场方向相反,第一磁场和第三磁场的磁场方向相同。

    复合涂层选针器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107043994B

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN201710183684.7

    申请日:2017-03-24

    摘要: 本发明是关于复合涂层选针器及其制备方法。本发明一实施例提供一复合涂层选针器,其包括选针器,选针器的表面依次附着热喷涂重熔合金涂层和PVD涂层;其中,热喷涂重熔合金涂层为包括Cr3C2‑Ni‑Cr、WC‑12Co、WC‑12Ni、WC‑10Co‑4Cr、WC‑15Ni、TiC‑15Ni或其组合的合金涂层,PVD涂层为包括AlCrN、CrAlN、CrN、AlTiN、TiAlN、TiAlCrN、TiSiN、TiSiAlN、TiAlWN或其组合的纳米硬质涂层。本发明实施例提供的复合涂层选针器及其制备方法,通过在选针器本体的表面依次沉积热喷涂重熔合金涂层和PVD涂层形成复合涂层选针器,有效防止复合涂层选针器在使用过程中被腐蚀和磨损,进而提高复合涂层选针器的使用寿命。

    电弧蒸发装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115261804B

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202211005375.8

    申请日:2022-08-22

    IPC分类号: C23C14/32

    摘要: 一种电弧蒸发装置,包括阴极弧蒸发源、气体管道、第一磁场装置、第二磁场装置以及第三磁场装置。阴极弧蒸发源的表面包括环状凹槽结构。环状凹槽结构限制阴极弧弧斑的移动并容纳靶材液滴。气体管道嵌入阴极弧蒸发源。气体管道的管道出口设置在环状凹槽结构中。第一磁场装置设置于阴极弧蒸发源的第一侧并环绕所述气体管道,并且经配置以产生第一磁场。第二磁场装置设置于阴极弧蒸发源的第一侧并环绕第一磁场装置设置,并且经配置以产生第二磁场。第三磁场装置环绕阴极弧蒸发源、第一磁场装置和第二磁场装置设置,并且经配置以产生第三磁场。第一磁场和第二磁场的磁场方向相反,第一磁场和第三磁场的磁场方向相同。