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公开(公告)号：CN1781614A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510125465.0
申请日：2005-11-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 臼井隆宽
CPC classification number: F26B5/04 , G02F1/133711
Abstract: 本发明提供：在基板表面上可以形成均匀厚度膜的减压干燥装置。由载置台(12)和上下运动可能的盖体(14)来形成容纳基板P的气密封闭可能的腔室(10)。在载置台(12)的底部设置排气管(24)，使腔室(10)减压可能。另外，在载置台(12)上载置了保持基板(P)的载物台(S)，在载物台(S)的周围的基板(P)表面位置的附近，在略相同于该基板P的表面位置的高度或低于基板(P)的表面位置的位置形成着排气口(40a、40b)，该开口部上形成了沿着基板(P)的边缘部延伸的狭缝形状的开口部。腔室(10)内的气氛气体，由吸气泵(26)通过形成在每一个排气口的开口部和排气管(24)吸引，并在每一个排气口以相同的排气速度来排出。
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公开(公告)号：CN1473107A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN02802855.4
申请日：2002-09-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/175
CPC classification number: B41J2/1707 , B41J2/1652 , B41J2/211
Abstract: 本发明提供一种即使在使用某种高粘度绘制液的情况下也能保持预定的液体排出特性的液滴排出装置。一种将填加入液滴排出头部中的液体排出的液滴排出装置，该设备具有一个可在第一液体和比第一液体粘度低的第二液体之间转换而将其填加入液滴排出头部的填加装置。
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公开(公告)号：CN101037043A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710085590.2
申请日：2007-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供即使液滴更微细化，也能够进行高精度描绘的液滴喷头的制造方法、液滴喷头以及液滴喷出装置的制造方法、液滴喷出装置。而且，即使喷嘴的指向有微小偏差，也能够实现高精度的描绘。液滴喷头具备与作为压力室的材料室连接、形成有作为喷出液滴的贯通部的喷嘴(21)的基板即喷嘴板(59)，具有在作为喷嘴板(59)的贯通部的喷嘴(21)上形成的用于引导液滴的多个液滴引导部(22)，各液滴引导部(22)朝喷出液滴的方向具有一定的曲率而延伸。
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公开(公告)号：CN1310765C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200410031834.5
申请日：2004-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 臼井隆宽
IPC: B41J2/165
CPC classification number: B41J25/003 , B41J2/16508 , B41J2002/16502 , G02F2001/13415
Abstract: 一种描绘装置，该装置为向基板上涂敷在溶剂中溶解或分散有描绘材料的描绘液的描绘装置，具备：具有向上述基板上喷出上述描绘液的液滴喷出头(12)的液滴喷出装置(13)、安放上述基板的基板台(16)、能够相对移动上述喷出头(12)或上述基板台(16)位置的移动装置(14)、控制上述液滴喷出头或基板台的至少一方的控制装置(15)，并且在上述液滴喷出头(12)或基板台(16)的至少一方或两方设置着作为溶剂流出防止装置的挡壁(51)。由此，利用液滴喷出法稳定地涂敷液晶等。
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公开(公告)号：CN1267279C
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200310101366.X
申请日：2003-10-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 臼井隆宽
Abstract: 本发明提供一种液状体喷出装置，具有喷出头和贮存供给喷出头的液状体的液状体罐，并且具有：覆盖喷嘴的第1吸引部件；第1减压装置，其与第1吸引部件连接，通过第1吸引部件降低喷出头内的压力；覆盖喷嘴的第2吸引部件；和第2减压装置，其与第2吸引部件连接，通过第2吸引部件降低喷出头内的压力，并与液状体罐内连通降低液状体罐内的压力；。依据上述构成，防止由于液状体的浪费造成的成本增高，与伴随着液状体的微细化的喷嘴路径和流路的微细化对应、容易从喷出头除去气泡。本发明还提供液状体喷出方法、电光学装置及其制造方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1263598C
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN03157012.7
申请日：2003-09-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 臼井隆宽
CPC classification number: B41J2/0456 , B41J2/0458 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/04596 , B41J2202/09
Abstract: 本发明提供一种制膜装置及其驱动方法、器件的制造方法和制造装置及器件。该制膜装置及其驱动方法，是由使喷出液滴的喷出波形(第一信号)(W1)，与使不喷出液滴、且付与液状体移位速度以保持该液状体低粘度的微振动波形(第二信号)(W2)，控制付与液状体的振动。
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公开(公告)号：CN100445843C
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200510073780.3
申请日：2005-05-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 臼井隆宽
IPC: G02F1/1337 , B41J2/01 , B41J2/07
CPC classification number: H01L51/0005
Abstract: 本发明可以提高干燥后的膜厚的均匀度。其解决方法是，包括：相对于玻璃基板(30)上的比所希望的描绘区域的面积小的描绘区域(21)，从喷墨头喷出取向膜油墨的步骤；相对于描绘区域(21)的周围的周围描绘区域(22)，从喷墨头喷出取向膜油墨的步骤；和相对于周围描绘区域(22)的周围的周围描绘区域(23)，从喷墨头喷出取向膜油墨的步骤，从而，可以减轻周边部的周围描绘区域(23)的干燥后的取向膜油墨的隆起。
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公开(公告)号：CN1257061C
公开(公告)日：2006-05-24
申请号：CN02802855.4
申请日：2002-09-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/175
CPC classification number: B41J2/1707 , B41J2/1652 , B41J2/211
Abstract: 本发明提供一种即使在使用某种高粘度绘制液的情况下也能保持预定的液体排出特性的液滴排出装置。一种将填加入液滴排出头部中的液体排出的液滴排出装置，该设备具有一个可在第一液体和比第一液体粘度低的第二液体之间转换而将其填加入液滴排出头部的填加装置。
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公开(公告)号：CN1496840A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN200310101366.X
申请日：2003-10-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 臼井隆宽
Abstract: 本发明涉及液状体喷出装置，有喷出头(34)和贮存供给喷出头(34)的液状体的液状体罐(35)的液状体喷出装置。有覆盖喷嘴的第1吸引部件(50)、与第1吸引部件(50)连接，通过第1吸引部件(50)降低喷出头(34)内的压力的第1减压装置(51)、覆盖喷嘴的第2吸引部件(38)、和与第2吸引部件(38)连接，通过第2吸引部件(38)降低喷出头(34)内的压力，并与液状体罐(35)内连通降低液状体罐(35)内的压力的第2减压装置(40)。本发明能提供与伴随着液状体的微细化的喷嘴路径和流路的微细化对应、容易从喷出头除去气泡的液状体喷出装置和液状体喷出方法、电子光学装置及其制造方法和电子设备。
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公开(公告)号：CN1495019A
公开(公告)日：2004-05-12
申请号：CN03157012.7
申请日：2003-09-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 臼井隆宽
CPC classification number: B41J2/0456 , B41J2/0458 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/04596 , B41J2202/09
Abstract: 本发明提供一种制膜装置及其驱动方法、器件的制造方法和制造装置及器件。该制膜装置及其驱动方法，是由使喷出液滴的喷出波形(第一信号)(W1)，与使不喷出液滴、且控制付与液状体移位速度以保持该液状体低粘度的微振动波形(第二信号)(W2)，控制付与液状体的振动。
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