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公开(公告)号:CN101722724B
公开(公告)日:2014-08-20
申请号:CN200910204744.4
申请日:2009-10-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 篠原亨
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/145 , G02B5/201 , H01L27/3211 , H01L51/0005 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种液状体的排出方法、滤色器以及有机EL装置的制造方法,其减少向多个被排出区域排出的液状体的偏倚,使在区域内配置的薄膜的厚度的不均匀减轻。该液状体的排出方法包括:排出工序,其边使具有包括多个喷嘴52的喷嘴列52a的液滴排出头50与具备多个大致矩形形状的被排出区域103的基板B在与液滴排出头50的配置方向大致正交的主扫描方向上相对移动,边从喷嘴52向被排出区域103排出液状体;其中,被排出区域103,包括排列方向大致正交且面积不同的第1被排出区域103r’、103g’、103b’和第2被排出区域103r、103g、103b;在前述排出工序中,将面积大的第1被排出区域103r’、103g’、103b’的长边方向配置为沿着主扫描方向。
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公开(公告)号:CN104118211A
公开(公告)日:2014-10-29
申请号:CN201410345605.4
申请日:2009-10-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 篠原亨
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/145 , G02B5/201 , H01L27/3211 , H01L51/0005 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种液状体的排出方法、滤色器以及有机EL装置的制造方法,其减少向多个被排出区域排出的液状体的偏倚,使在区域内配置的薄膜的厚度的不均匀减轻。该液状体的排出方法包括:排出工序,其边使具有包括多个喷嘴52的喷嘴列52a的液滴排出头50与具备多个大致矩形形状的被排出区域103的基板B在与液滴排出头50的配置方向大致正交的主扫描方向上相对移动,边从喷嘴52向被排出区域103排出液状体;其中,被排出区域103,包括排列方向大致正交且面积不同的第1被排出区域103r’、103g’、103b’和第2被排出区域103r、103g、103b;在前述排出工序中,将面积大的第1被排出区域103r’、103g’、103b’的长边方向配置为沿着主扫描方向。
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公开(公告)号:CN101890839B
公开(公告)日:2014-07-09
申请号:CN201010182857.1
申请日:2010-05-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/145
CPC classification number: H05B33/10 , B41J2/16517 , B41J2/1721 , B41J3/28 , B41J3/543 , G02F1/133516
Abstract: 本发明提供在图案膜形成区域的区域面积分别不同的情况下,也将高效地排出液滴的液滴排出装置。其是具备向在基材上设置的图案膜形成区域排出液滴的排出头的液滴排出装置,其中,与每一前述图案膜形成区域的宽阔度对应地具有排出前述液滴的多个前述排出头;并且将与前述图案膜形成区域之中的狭小的图案膜形成区域对应的前述排出头的数量,配置得多于与区域面积比前述狭小的图案膜形成区域宽阔的图案膜形成区域对应的前述排出头的数量。
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公开(公告)号:CN101890839A
公开(公告)日:2010-11-24
申请号:CN201010182857.1
申请日:2010-05-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/145
CPC classification number: H05B33/10 , B41J2/16517 , B41J2/1721 , B41J3/28 , B41J3/543 , G02F1/133516
Abstract: 本发明提供在图案膜形成区域的区域面积分别不同的情况下,也将高效地排出液滴的液滴排出装置。其是具备向在基材上设置的图案膜形成区域排出液滴的排出头的液滴排出装置,其中,与每一前述图案膜形成区域的宽阔度对应地具有排出前述液滴的多个前述排出头;并且将与前述图案膜形成区域之中的狭小的图案膜形成区域对应的前述排出头的数量,配置得多于与区域面积比前述狭小的图案膜形成区域宽阔的图案膜形成区域对应的前述排出头的数量。
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公开(公告)号:CN101722728A
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200910207655.5
申请日:2009-10-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 篠原亨
CPC classification number: B41J2/15 , B41J2/2128 , B41J19/142 , B41J2202/09 , H01L27/3211 , H01L51/0005 , H01L51/56
Abstract: 本发明涉及液状体的排出方法、滤色器的制造方法及有机EL装置的制造方法。能够制造质量稳定的至少2种类型的薄膜。液状体的排出方法特征为:包括排出工序,该工序中一边使将作为液滴(D)而排出液状体的多个喷嘴(52)配设为列状的喷嘴列(52a)与具备多个被排出区域的基板(B)在与前述喷嘴列(52a)的配置方向基本正交的主扫描方向相对移动,一边从前述喷嘴(52)向前述被排出区域排出前述液状体;前述被排出区域包括第1被排出区域及第2被排出区域;在前述排出工序中设定为,前述液状体对于前述第1被排出区域的排出条件与前述液状体对于前述第2被排出区域的排出条件不同。
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公开(公告)号:CN101722724A
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200910204744.4
申请日:2009-10-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 篠原亨
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/145 , G02B5/201 , H01L27/3211 , H01L51/0005 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种液状体的排出方法、滤色器以及有机EL装置的制造方法,其减少向多个被排出区域排出的液状体的偏倚,使在区域内配置的薄膜的厚度的不均匀减轻。该液状体的排出方法包括:排出工序,其边使具有包括多个喷嘴52的喷嘴列52a的液滴排出头50与具备多个大致矩形形状的被排出区域103的基板B在与液滴排出头50的配置方向大致正交的主扫描方向上相对移动,边从喷嘴52向被排出区域103排出液状体;其中,被排出区域103,包括排列方向大致正交且面积不同的第1被排出区域103r’、103g’、103b’和第2被排出区域103r、103g、103b;在前述排出工序中,将面积大的第1被排出区域103r’、103g’、103b’的长边方向配置为沿着主扫描方向。
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