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公开(公告)号：CN110645918B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201910548605.7
申请日：2019-06-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供三维测量装置、控制装置及机器人系统，所述三维测量装置使用激光进行对象物的三维测量，所述三维测量装置包括：激光照射部，配置于机器人的可动部，并向包括所述对象物的区域照射所述激光；照射控制部，控制所述激光照射部的驱动；拍摄部，拍摄被所述激光照射了的所述对象物而获取图像数据；以及点云数据生成部，基于所述图像数据，生成包括所述对象物的区域的三维点云数据，所述激光照射部包括激光光源和漫射部，所述漫射部使从所述激光光源发射的所述激光漫射。
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公开(公告)号：CN104062756A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410095268.8
申请日：2014-03-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 清水武士
CPC classification number: G02B26/101 , G02B26/0833 , G02B26/085
Abstract: 本发明涉及光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器。光扫描仪的特征在于，具备：可动部；框体部；第一轴部，其将所述可动部与所述框体部连接；固定部；第二轴部，其将所述框体部与所述固定部连接；第一应变检测元件以及第二应变检测元件，它们配置于所述第二轴部的所述框体部侧的端部、或者配置于所述可动部、所述框体部以及所述第一轴部中的任一个；第一信号处理部，其被输入有所述第一应变检测元件的检测信号、且输出基于所述第二轴部的弯曲变形的信号；以及第二信号处理部，其被输入有所述第二应变检测元件的检测信号、且输出基于所述第二轴部的扭转变形的信号。
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公开(公告)号：CN116659644A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310167160.4
申请日：2023-02-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明提供即使施加了温度变化等的外部干扰也能够抑制解调精度降低的激光干涉仪。该激光干涉仪具备：激光光源，射出激光；光调制器，具备通过驱动信号进行驱动的振动元件，并使调制信号与激光重叠；受光元件，接收包含通过在对象物反射而重叠的采样信号的激光及包含调制信号的激光，并输出受光信号；运算部，根据基准信号对受光信号进行运算；以及信号生成部，输出驱动信号及基准信号，运算部具有：预处理部，根据基准信号输出包含频率调制成分的预处理信号；解调处理部，根据基准信号从预处理信号解调采样信号；以及校正处理部，根据与振动元件的驱动相对应地输出的输出信号输出校正信号，信号生成部根据校正信号对驱动信号及基准信号进行校正。
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公开(公告)号：CN110645918A
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201910548605.7
申请日：2019-06-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供三维测量装置、控制装置及机器人系统，所述三维测量装置使用激光进行对象物的三维测量，所述三维测量装置包括：激光照射部，配置于机器人的可动部，并向包括所述对象物的区域照射所述激光；照射控制部，控制所述激光照射部的驱动；拍摄部，拍摄被所述激光照射了的所述对象物而获取图像数据；以及点云数据生成部，基于所述图像数据，生成包括所述对象物的区域的三维点云数据，所述激光照射部包括激光光源和漫射部，所述漫射部使从所述激光光源发射的所述激光漫射。
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公开(公告)号：CN104062755A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410092963.9
申请日：2014-03-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 清水武士
CPC classification number: G02B26/101 , G02B26/085 , G02B27/01 , G02B2027/014 , G02B2027/0154 , H02K11/24
Abstract: 本发明涉及光扫描仪、致动器、图像显示装置以及头戴式显示器，光扫描仪以及致动器在包含可动部的万向节结构中能够抑制与应变检测元件连接的布线断线并且利用应变检测元件来检测可动部的绕第一轴的举动，图像显示装置以及头戴式显示器具备该光扫描仪且可靠性出色。光扫描仪具备能够绕Y轴摆动的可动反射镜部、能够绕与Y轴交叉的X轴摆动的框体部、将可动反射镜部与框体部连接的轴部、固定部、将框体部与固定部连接的轴部（14a、14b）、以及被配置于轴部（14a）的应变检测元件（51），使用应变检测元件的检测信号所包含的基于轴部（14a）的弯曲变形以及扭转变形的信号，来检测可动反射镜部的绕X轴以及绕Y轴的举动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117705262A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202410080570.X
申请日：2021-08-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请提供一种源自对象物的采样信号的解调精度较高且易于实现小型化的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光包含所述第一激光被对象物反射而生成的采样信号；解调电路，其基于基准信号并根据所述受光信号而对所述采样信号进行解调；振荡电路，其向所述解调电路输出所述基准信号，所述振动元件为所述振荡电路的信号源。
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公开(公告)号：CN114111998B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202110967137.4
申请日：2021-08-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请提供一种源自对象物的采样信号的解调精度较高且易于实现小型化的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光包含所述第一激光被对象物反射而生成的采样信号；解调电路，其基于基准信号并根据所述受光信号而对所述采样信号进行解调；振荡电路，其向所述解调电路输出所述基准信号，所述振动元件为所述振荡电路的信号源。
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公开(公告)号：CN112917473B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202011404402.X
申请日：2020-12-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 光扫描装置、三维计测装置及机器人系统。提供不会使反射镜的摆动不稳定，而检测反射镜的环境的技术。光扫描装置具有MEMS基板；基板固定部，固定有MEMS基板；以及环境检测传感器，检测反射镜的环境。在从垂直于MEMS基板的表面的方向进行俯视观察时，环境检测传感器配置在与基板固定部重叠或邻接而不与MEMS基板重叠的位置。
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公开(公告)号：CN114111998A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110967137.4
申请日：2021-08-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请提供一种源自对象物的采样信号的解调精度较高且易于实现小型化的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光包含所述第一激光被对象物反射而生成的采样信号；解调电路，其基于基准信号并根据所述受光信号而对所述采样信号进行解调；振荡电路，其向所述解调电路输出所述基准信号，所述振动元件为所述振荡电路的信号源。
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公开(公告)号：CN115876303A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211180646.3
申请日：2022-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 清水武士
Abstract: 本申请提供激光干涉仪，即便是在将振荡电路所输出的信号那样相位产生变化的信号用作基准信号时，也能够提高从受光信号解调出源自于测定对象物的采样信号的精度。激光干涉仪具备：激光光源，射出第一激光；光调制器，具备振动元件，且生成包括调制信号的第二激光；受光元件，接受第二激光及包括采样信号的第三激光；以及运算部，基于基准信号从受光信号求出测定对象物的位移，运算部具有：前处理部，进行从受光信号提取频率调制分量的前处理，并输出前处理信号；解调处理部，在将正交信号混合于前处理信号而得到混合信号之后，进行从混合信号取出采样信号的解调处理；以及正交信号生成部，基于基准信号的相位及前处理信号的振幅而生成正交信号。
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