物理量传感器、惯性测量装置及电子设备

    公开(公告)号:CN119375514A

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202411007577.5

    申请日:2024-07-25

    Inventor: 梅野智和

    Abstract: 一种物理量传感器、惯性测量装置及电子设备,用于提升物理量传感器的转动件杆的耐冲击性。物理量传感器包括元件基板、可动体以及固定体,所述可动体包括悬挂件;扭簧,与所述悬挂件连接;以及转动件,与所述扭簧连接,并包括第一叉指电极,所述固定体包括固定件杆,所述固定件杆包括第二叉指电极,所述转动件包括在Y轴方向上延伸的纵向转动件杆以及在X轴方向上延伸的横向转动件杆,所述纵向转动件杆设有狭缝。

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