喷出图案数据生成方法和装置及应用其的诸装置和诸方法

    公开(公告)号:CN1215939C

    公开(公告)日:2005-08-24

    申请号:CN03105476.5

    申请日:2003-02-21

    CPC classification number: G05B19/4099 G05B2219/49015 H01L51/0004 H05K3/1241

    Abstract: 一种喷出图案数据生成方法,是由多个喷嘴(38)选择性喷出功能液滴,对工件(W)上一个以上芯片形成区进行描绘用的,生成各喷嘴(38)的喷出图案数据的一种喷出图案数据生成方法,其中备有设定与芯片形成区(C)中象素(E)的排列有关的象素信息的象素设定工序,设定与工件(W)上的芯片形成区(C)的配置有关的芯片信息的芯片设定工序,设定与各喷嘴(38)的配置有关的喷嘴信息的喷嘴设定工序,以及基于工件(W)与功能液滴喷头(7)的位置关系,由设定的象素信息、芯片信息和喷嘴信息生成各喷嘴(38)的喷出图案数据的数据生成工序。按列设置在多功能液滴喷头上的各喷头的喷出图案数据能容易而迅速地生成。

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