公开(公告)号：CN103895347A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201310722229.1

申请日：2013-12-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 长门谷贤 ,  内藤信宏 ,  若松康介 ,  中村宙哉

IPC: B41J2/14

CPC classification number: B41J2/1433 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1606 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/164 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419

Abstract: 本发明提供喷嘴板、液体喷射头以及液体喷射装置。本发明的硅喷嘴板的喷嘴开口内表面、排出面的耐液性优异。在喷嘴板的硅基板设置有多个喷嘴开口。在所述硅基板的两面以及所述喷嘴开口的内表面设置有通过原子层堆积的方式而形成的氧化钽膜。

公开(公告)号：CN103895347B

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201310722229.1

申请日：2013-12-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 长门谷贤 ,  内藤信宏 ,  若松康介 ,  中村宙哉

IPC: B41J2/14

CPC classification number: B41J2/1433 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1606 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/164 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419

Abstract: 本发明提供喷嘴板、液体喷射头以及液体喷射装置。本发明的硅喷嘴板的喷嘴开口内表面、排出面的耐液性优异。在喷嘴板的硅基板设置有多个喷嘴开口。在所述硅基板的两面以及所述喷嘴开口的内表面设置有通过原子层堆积的方式而形成的氧化钽膜。