公开(公告)号：CN103048489B

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201210005765.5

申请日：2012-01-10

申请人： 立积电子股份有限公司

发明人： 黄志伟 ,  张介斌 ,  陈家豪 ,  赵传珍 ,  庄英宗 ,  王是琦 ,  王永和

IPC分类号： G01P15/12

CPC分类号： G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/0837

摘要： 本发明公开一种压阻式Z轴加速度感测器，其包括：一基板；多个支撑梁，设置于该基板上；多个悬臂梁，其中该些悬臂梁分别包括一压电材；以及一质量块，其中，该些悬臂梁分别通过该些支撑梁将该质量块悬浮于该基板上，且该感测器利用该压电材侦测该质量块的位移。

公开(公告)号：CN102778585B

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201110157916.4

申请日：2011-06-13

申请人： 立积电子股份有限公司

发明人： 黄志伟 ,  张介斌 ,  陈家豪 ,  赵传珍 ,  庄英宗 ,  王是琦 ,  王永和

IPC分类号： G01P15/125

CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P2015/0814

摘要： 一种传感装置，包括一加速度传感单元，用以量测施加于一质量块上的一加速度，还包括：该质量块；一载波信号源，用以提供一载波；一电容性半桥，包括一第一电容及一第二电容，其中该第一电容与该第二电容分别以相反的电极耦接至该质量块及该载波信号源，其中施加于该质量块上的该加速度，使得该载波在其流经的该第一电容及该第二电容上，分别产生反相的一第一电压变化及一第二电压变化；以及一仪表放大器，用以接收并放大该第一电压变化及该第二电压变化，藉以判读施加于该质量块上的该加速度的大小与方向，其中，该仪表放大器包括第一运算放大器、第二运算放大器、第三运算放大器、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻以及第七电阻。

公开(公告)号：CN102778585A

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN201110157916.4

申请日：2011-06-13

申请人： 立积电子股份有限公司

发明人： 黄志伟 ,  张介斌 ,  陈家豪 ,  赵传珍 ,  庄英宗 ,  王是琦 ,  王永和

IPC分类号： G01P15/125

CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P2015/0814

摘要： 一种传感装置，包括一加速度传感单元，用以量测施加于一质量块上的一加速度，还包括：该质量块；一载波信号源，用以提供一载波；一电容性半桥，包括一第一电容及一第二电容，其中该第一电容与该第二电容分别以相反的电极耦接至该质量块及该载波信号源，其中施加于该质量块上的该加速度，使得该载波在其流经的该第一电容及该第二电容上，分别产生反相的一第一电压变化及一第二电压电变化；以及一仪表放大器，用以接收并放大该第一电压变化及该第二电压变化，藉以判读施加于该质量块上的该加速度的大小与方向。

公开(公告)号：CN103048489A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201210005765.5

申请日：2012-01-10

申请人： 立积电子股份有限公司

发明人： 黄志伟 ,  张介斌 ,  陈家豪 ,  赵传珍 ,  庄英宗 ,  王是琦 ,  王永和

IPC分类号： G01P15/12

CPC分类号： G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/0837

摘要： 本发明公开一种压阻式Z轴加速度感测器，其包括：一基板；多个支撑梁，设置于该基板上；多个悬臂梁，其中该些悬臂梁分别包括一压电材；以及一质量块，其中，该些悬臂梁分别通过该些支撑梁将该质量块悬浮于该基板上，且该感测器利用该压电材侦测该质量块的位移。