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发明公开
研磨用组合物审中-实审

公开(公告)号：CN118103955A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202280068329.4

申请日：2022-09-20

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 后藤修 , 高间大辉 , 田中优己

IPC: H01L21/304

Abstract: 提供适于研磨的新型的组合物。提供一种包含作为磨粒的二氧化硅颗粒、碱性化合物和水的研磨用组合物。上述研磨用组合物还包含无机酸铵盐。

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