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公开(公告)号：CN101919079A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200880023261.8
申请日：2008-06-30
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： M·克利 , K·赖曼 , B·K·斯里达兰奈尔 , R·P·A·德尔诺伊 , H·M·J·布茨 , C·A·本德斯 , O·武尼克 , D·里夫曼 , P·德克森 , R·德克 , H·范埃希 , M·德威尔德 , R·莫西奥克 , C·范希施 , W·F·帕斯维尔 , E·J·克尼贝 , R·A·H·布里恩
CPC classification number: B06B1/0603 , B06B1/0292 , G08B13/1645 , H01L27/20 , H01L41/0973 , H01L41/314 , Y10T29/42
Abstract: 提供了一种换能器(800)，其中隔膜(830)在前衬底(615)上形成；并且压电层(820)在隔膜(830)上的活性部分(821)和位于活性部分(821)邻近的外围部分处形成。此外，提供了后衬底结构，其具有位于邻近活性部分(821)的外围部分处的支撑物(822，824)。支撑物(822，824)的高度(826)大于图案化压电层和图案化导电层的组合高度(828)。可以连接许多换能器以形成阵列，其中可以提供控制器，其用于控制该阵列(例如操纵该阵列的束、处理该阵列接收的信号)，用于例如存在性或运动检测和/或成像。
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公开(公告)号：CN101919079B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN200880023261.8
申请日：2008-06-30
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： M·克利 , K·赖曼 , B·K·斯里达兰奈尔 , R·P·A·德尔诺伊 , H·M·J·布茨 , C·A·本德斯 , O·武尼克 , D·里夫曼 , P·德克森 , R·德克 , H·范埃希 , M·德威尔德 , R·莫西奥克 , C·范希施 , W·F·帕斯维尔 , E·J·克尼贝 , R·A·H·布里恩
CPC classification number: B06B1/0603 , B06B1/0292 , G08B13/1645 , H01L27/20 , H01L41/0973 , H01L41/314 , Y10T29/42
Abstract: 提供了一种换能器(800)，其中隔膜(830)在前衬底(615)上形成；并且压电层(820)在隔膜(830)上的活性部分(821)和位于活性部分(821)邻近的外围部分处形成。此外，提供了后衬底结构，其具有位于邻近活性部分(821)的外围部分处的支撑物(822，824)。支撑物(822，824)的高度(826)大于图案化压电层和图案化导电层的组合高度(828)。可以连接许多换能器以形成阵列，其中可以提供控制器，其用于控制该阵列(例如操纵该阵列的束、处理该阵列接收的信号)，用于例如存在性或运动检测和/或成像。
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