公开(公告)号：CN101010806A

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：CN200580028678.X

申请日：2005-08-11

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： G·沃格特梅尔 ,  R·斯蒂德曼 ,  G·泽特勒 ,  K·J·恩格尔 ,  H·韦科佐雷克

IPC: H01L27/146 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/101 ,  H01L31/115 ,  G01T1/20 ,  H05G1/00 ,  G01V5/00

CPC classification number: H01L27/14663 ,  H01L27/14676 ,  H01L31/085 ,  H01L31/101 ,  H01L31/115

Abstract: 本发明涉及微电子系统，尤其是用于X射线探测器的微电子系统，其中该微电子系统包括具有像素(P)的阵列的半导体层(1)，像素(P)由光敏元件(3)和相关的电子电路(4)组成。在其表面内具有凹陷(5a)的绝缘钝化层(5)夹置于半导体层(1)和闪烁体(8)之间。用于屏蔽电子电路(4)免受X射线辐射的屏蔽金属(6)可置于钝化层(5)的凹陷(5a)内。此外，该凹陷可包含用于固定闪烁体(8)的胶合剂，其中该钝化层(5)另外用作闪烁体(8)和半导体层(1)之间的隔离物。