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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116865711A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310818767.4
申请日：2023-07-05
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种红外探测薄膜异质谐振器、制备及红外探测阵列，其目的在于通过微纳加工技术制备红外探测薄膜异质谐振器的红外探测阵列，二维红外吸收材料层将自身所吸收的外部红外辐射转变成热量，从而引起红外探测薄膜异质谐振器的谐振频率发生偏移，通过检测红外探测薄膜异质谐振器实时的频率偏移，便可实现红外探测。本发明利用谐振器的高品质因子和快速响应特性实现高灵敏红外探测，具有结构简单、尺寸小、使用成本低、易大规模扩展的优势，为红外探测提供新的设计思路。
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公开(公告)号：CN115683345A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211323718.5
申请日：2022-10-27
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种基于氮化硅薄膜机械振子的室温红外探测装置及工作方法、制备方法；包括矩形衬底、蹦床结构；矩形衬底从上至下依次是Si3N4层、SiO2层、Si基底；矩形衬底中心通过刻蚀形成蹦床结构，蹦床结构包括中间的圆弧状四边形以及四角延伸出去的弧形条带，蹦床结构的上表面中心固定有PdSe2矩形薄膜；由于室温下PdSe2对红外光的强烈吸收特性和Si3N4机械振子能提供高品质因子的特点，本发明结合两者优势提出一种可用于探测室温下中红外波段的装置，能实现高响应度和高灵敏度，弥补非制冷红外探测器性能水平低和低温冷却红外探测器因便携性小导致应用场景受限之间的差距。
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公开(公告)号：CN116818110A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310818970.1
申请日：2023-07-05
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种基于腔光力系统的红外探测装置及探测方法，其目的在于通过光学测量方法消除传统红外探测过程中的暗电流和电学噪声，利用腔光力系统的量子增强效应进一步提高红外探测的精度。本发明的装置中包括：薄膜异质机械振子、光纤，薄膜异质机械振子的中心设有悬浮结构，悬浮结构上方为外部红外辐射，光纤靠近薄膜异质机械振子的一端与薄膜异质机械振子之间形成腔光力系统；薄膜异质机械振子作为红外传感单元，腔光力系统作为红外探测单元。本发明方法对于红外探测具有高灵敏、低噪声的特点，为红外探测提供新的探测思路和探测机理。
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公开(公告)号：CN116660710A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310642343.7
申请日：2023-06-01
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种利用机械模式实现量子点自旋能级测量的方法、装置和制备方法，其目的在于通过微纳加工技术制备碳纳米管微纳谐振器，利用碳纳米管振动的机械模式与其量子点中电子自旋能级的耦合，以此实现自旋能级的测量。碳纳米管通过栅极电压调控形成量子点结构，同时碳纳米管振动时形成的机械模式可与量子点中电子自旋能级发生耦合，通过自旋态的改变读取机械模式的频率偏移，由此实现量子点中自旋能级的测量。本装置结构简单、尺寸小，与微纳加工技术相兼容，为测量半导体量子点中自旋能级提供新的思路。
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公开(公告)号：CN116295183A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310273807.1
申请日：2023-03-20
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01B21/02 , C01G37/00 , C01B25/14 , C23C14/30 , G01G9/00 , G01H9/00 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开一种基于CrPS4薄膜机械振子的位移和质量传感装置及方法，包括：衬底，CrPS4薄膜，衬底包括Si基底、SiO2层、Si3N4层、Ti和Au复合层；Ti和Au复合层、Si3N4层、SiO2层的中部设有凹槽，凹槽底部设有Ti和Au复合层构成的电极；CrPS4薄膜的中间部分悬浮于所述凹槽上方；在4k的温度下，CrPS4薄膜机械振子具有高达85～93dB的宽动态范围和高达3000‑4500的品质因子，传感装置的位移和质量灵敏度分别为14～18fm/Hz1/2和0.9‑1.7yg，这相当于一个质子或一个氢原子的质量，从而开辟了在未来的惯性质谱测量中区分不同化学元素的可能性。超高质量灵敏度的CrPS4机械振子为质谱、磁力计和吸附实验提供了新的机会。
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