公开(公告)号：CN110987215A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201911402146.8

申请日：2019-12-31

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 赵晓辉 ,  谢锦华 ,  刘洋 ,  邵磊 ,  蒋洪川 ,  张万里

IPC: G01K7/04 ,  G01K1/08 ,  G01K1/14

Abstract: 一种检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器，属于薄膜传感器技术领域。所述薄膜温度传感器包括设置于涡轮叶片和热障涂层之间的薄膜热电偶敏感层，所述薄膜热电偶敏感层由N个薄膜热电偶正负极依次串联得到，所述热障涂层覆盖薄膜热电偶的冷端，其中，N≥1的正整数。本发明检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器，在涡轮叶片与热障涂层之间设置薄膜热电偶，薄膜热电偶的热端位于无热障涂层保护的区域，冷端位于有热障涂层保护的区域，根据热电偶的工作原理，能够直接获得热障涂层的隔热效果，排除了多次或多样品测量隔热效果时所带来的误差。同时提高了器件的信号强度以及分辨率，在不破坏热障涂层的前提下实现了薄膜热电偶信号的引出。