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公开(公告)号：CN103604325B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310566171.6
申请日：2013-11-14
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明的目的是提供一种高压等离子体薄膜开关及其制造方法，克服现有冲击片雷管用高压开关触发能量高、工作稳定性差的缺陷，其技术方案为：高压等离子体薄膜开关，包括绝缘基底、分布于绝缘基底上开关电极及覆盖于开关电极上的聚酰亚胺薄膜，其中开关电极包括两触发电极与主电极，两触发电极间通过多层复合含能桥膜连接，主电极位于桥膜侧面，且与桥膜之间存在开关间隙；该高压开关具有触发能量低、响应时间短，耐高温、高绝缘等优点；且该高压开关体积小易与爆炸箔等集成，进一步适用于新一代冲击片雷管。另外其制备工艺中采用磁控溅射以及掩膜工艺沉积多层复合含能桥膜于两触发电极之间，连接两触发电极；该工艺流程简单，制造成本低。
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公开(公告)号：CN103396282B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201310330468.2
申请日：2013-07-31
Applicant: 电子科技大学
IPC: C06C9/00
Abstract: 该发明属于火工品生产领域中的一种采用多层含能膜的桥式点火器。包括陶瓷基片，B/Ti、CuO/Al或Ni/Al多层含能膜，设于基片中部与多层含能膜之间的TaN点火膜桥，设于TaN点火膜桥的两侧上表面的电极。该发明由于在基片与多层含能膜之间设了一层专用于使含能膜着火反应的TaN点火膜桥，首先利用TaN点火膜桥在3.0A左右点火电流的作用下点燃多层含能膜，使多层含能膜反应放出大量的热能以点燃火药、燃料或引爆炸药。因而具有器件小型化，采用小电流的电能与大面积多层含能膜配合、利用电能和化学能有效提高了点火所需的热能、点火的安全性和可靠性，器件的一致性和性能稳定好，有利于批量生产，生产效率高、成本低，运输、储存方便等特点。
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公开(公告)号：CN103604325A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201310566171.6
申请日：2013-11-14
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明的目的是提供一种高压等离子体薄膜开关及其制造方法，克服现有冲击片雷管用高压开关触发能量高、工作稳定性差的缺陷，其技术方案为：高压等离子体薄膜开关，包括绝缘基底、分布于绝缘基底上开关电极及覆盖于开关电极上的聚酰亚胺薄膜，其中开关电极包括两触发电极与主电极，两触发电极间通过多层复合含能桥膜连接，主电极位于桥膜侧面，且与桥膜之间存在开关间隙；该高压开关具有触发能量低、响应时间短，耐高温、高绝缘等优点；且该高压开关体积小易与爆炸箔等集成，进一步适用于新一代冲击片雷管。另外其制备工艺中采用磁控溅射以及掩膜工艺沉积多层复合含能桥膜于两触发电极之间，连接两触发电极；该工艺流程简单，制造成本低。
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公开(公告)号：CN103396282A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310330468.2
申请日：2013-07-31
Applicant: 电子科技大学
IPC: C06C9/00
Abstract: 该发明属于火工品生产领域中的一种采用多层含能膜的桥式点火器。包括陶瓷基片，B/Ti、CuO/Al或Ni/Al多层含能膜，设于基片中部与多层含能膜之间的TaN点火膜桥，设于TaN点火膜桥的两侧上表面的电极。该发明由于在基片与多层含能膜之间设了一层专用于使含能膜着火反应的TaN点火膜桥，首先利用TaN点火膜桥在3.0A左右点火电流的作用下点燃多层含能膜，使多层含能膜反应放出大量的热能以点燃火药、燃料或引爆炸药。因而具有器件小型化，采用小电流的电能与大面积多层含能膜配合、利用电能和化学能有效提高了点火所需的热能、点火的安全性和可靠性，器件的一致性和性能稳定好，有利于批量生产，生产效率高、成本低，运输、储存方便等特点。
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