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公开(公告)号：CN105758562A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610189094.0
申请日：2016-03-29
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01L1/18
CPC classification number: G01L1/18
Abstract: 一种柔性压力传感器及其制备方法，属于传感器领域。所述压力传感器自下而上依次为第一微纳结构PDMS薄膜、第一CNT薄膜、毫米结构PDMS层、第二CNT薄膜和第二微纳结构PDMS薄膜；所述毫米结构PDMS层包括两个长条形PDMS薄膜，位于第一CNT薄膜的两端，厚度为1～2mm，所述第一微纳结构PDMS薄膜和第二微纳结构PDMS薄膜表面为椎体结构。本发明对电极式压力传感器采用使用黑硅作为模板制备的微纳结构PDMS薄膜作为压力传感器电极衬底，采用CNT薄膜作为压力传感器电极，并在上下电极之间引入毫米结构的PDMS层，得到的压力传感器的灵敏度有较大的提高，且稳定性更好。
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公开(公告)号：CN105742369A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610182132.X
申请日：2016-03-25
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L29/06
CPC classification number: H01L29/786 , H01L29/06 , H01L29/66477
Abstract: 一种新型底栅结构的柔性薄膜晶体管及其制备方法，属于半导体薄膜晶体管技术领域。所述薄膜晶体管自下而上依次为柔性衬底、栅电极、绝缘层、有源层和源漏电极，所述栅电极和源漏电极为银纳米线薄膜，所述绝缘层为PMMA薄膜。本发明薄膜晶体管采用PMMA作为绝缘层、Ag纳米线薄膜作为导电电极层，利用PMMA薄膜耐弯折高绝缘的特点、以及Ag纳米线薄膜耐弯折高电导率的特点，克服了薄膜晶体管在弯折条件下易损坏的缺陷，使其能应用于大面积柔性显示、电子纸、传感器等领域。
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公开(公告)号：CN105698978A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610044359.8
申请日：2016-01-22
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01L1/18
CPC classification number: G01L1/18
Abstract: 该发明公开了一种PMMA膜制备方法及PMMA膜电阻式柔性压力传感器，涉及柔性压力传感器结构和制备，具体涉及PMMA薄膜制备工艺以及使用PMMA薄膜的电阻式柔性压力传感器的结构。该传感器包括：上电极、上电极衬底、下电极、下电极衬底、封装结构，上电极位于上电极衬底下表面，下电极位于下电极衬底的上表面，上电极与下电极之间留有空腔，所述上、下电极包括：导电薄膜、设置于导电薄膜上的银电极，与银电极相连的铜导线，下电极衬底为PDMS薄膜，其特征在于上电极衬底为PMMA薄膜。本发明克服了PDMS薄膜的自身容易塌陷粘连的缺点，提高使用PDMS制备的对电极式压力传感器稳定性，从而拓宽PDMS对电极式柔性压力传感器的使用领域，并且极大的降低了压力传感器的成本。
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公开(公告)号：CN104237320A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410275510.X
申请日：2014-06-19
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种氢气传感器，包括：衬底层；至少两行金属氧化物纳米管，相邻两行金属氧化物纳米管之间相互错位排列，使得三个相邻金属氧化物纳米管之间形成管间空间；金属纳米点，形成在管间空间的顶端；电极层，形成在顶部并与金属纳米点的至少一部分电连接。本发明的实施例的氢气传感器中，采用金属纳米点/金属氧化物纳米管复合结构用作氢气传感器的敏感层，既充分利用了金属氧化物纳米管的氢敏特性及其自清洁功能，又利用了“准隔离”的金属纳米点的氢敏特性，使得这种复合结构氢气传感器能获得更好的氢敏特性。
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公开(公告)号：CN103966624A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410178770.5
申请日：2014-04-30
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种制备电化学电解电极的方法，包括：将铝金属箔在第一温度下浸入强酸溶液中浸泡第一时间；从强酸溶液中取出铝金属箔，用清洗剂清洗，并干燥；将干燥后的铝金属箔浸入去离子水中，在第二温度下水浴第二时间；冷却并干燥水浴后的铝金属箔。根据本发明实施例的方法，使用浓硫酸或浓硝酸钝化的铝金属箔作为阴极，一方面将使电解成本大大减少，同时也不降低电解用的阴极功能。而且另外，钝化后的铝阴极在实验中比传统的Pt阴极更不易附着污渍。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105758562B
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201610189094.0
申请日：2016-03-29
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 一种柔性压力传感器及其制备方法，属于传感器领域。所述压力传感器自下而上依次为第一微纳结构PDMS薄膜、第一CNT薄膜、毫米结构PDMS层、第二CNT薄膜和第二微纳结构PDMS薄膜；所述毫米结构PDMS层包括两个长条形PDMS薄膜，位于第一CNT薄膜的两端，厚度为1～2mm，所述第一微纳结构PDMS薄膜和第二微纳结构PDMS薄膜表面为椎体结构。本发明对电极式压力传感器采用使用黑硅作为模板制备的微纳结构PDMS薄膜作为压力传感器电极衬底，采用CNT薄膜作为压力传感器电极，并在上下电极之间引入毫米结构的PDMS层，得到的压力传感器的灵敏度有较大的提高，且稳定性更好。
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公开(公告)号：CN104237320B
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201410275510.X
申请日：2014-06-19
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种氢气传感器，包括：衬底层；至少两行金属氧化物纳米管，相邻两行金属氧化物纳米管之间相互错位排列，使得三个相邻金属氧化物纳米管之间形成管间空间；金属纳米点，形成在管间空间的顶端；电极层，形成在顶部并与金属纳米点的至少一部分电连接。本发明的实施例的氢气传感器中，采用金属纳米点/金属氧化物纳米管复合结构用作氢气传感器的敏感层，既充分利用了金属氧化物纳米管的氢敏特性及其自清洁功能，又利用了“准隔离”的金属纳米点的氢敏特性，使得这种复合结构氢气传感器能获得更好的氢敏特性。
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公开(公告)号：CN105841849B
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201610181526.3
申请日：2016-03-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 一种柔性压力传感器与薄膜晶体管的集成器件及其制备方法，属于传感器领域。包括底层柔性衬底，位于底层柔性衬底之上的栅电极和压力传感器电极，位于栅电极之上的有源层，位于部分栅电极、部分底层柔性衬底、传感器电极之上的敏感层，位于有源层之上的绝缘层，位于绝缘层之上的源漏电极，覆盖源漏电极和敏感层的顶层封装层。本发明将压力传感器与薄膜晶体管集成在一起，压力传感器对压力的响应带来了电流值的改变，薄膜晶体管通过输出的电流值即可实现对压力的检测，该集成器件既实现了压力的检测，又能将信号进行放大输出，有效实现了传感器与电路的结合，且具有低成本、高灵敏度、低驱动电压、响应快、放大检测信号等优点。
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公开(公告)号：CN103966624B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201410178770.5
申请日：2014-04-30
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种制备电化学电解电极的方法，包括：将铝金属箔在第一温度下浸入强酸溶液中浸泡第一时间；从强酸溶液中取出铝金属箔，用清洗剂清洗，并干燥；将干燥后的铝金属箔浸入去离子水中，在第二温度下水浴第二时间；冷却并干燥水浴后的铝金属箔。根据本发明实施例的方法，使用浓硫酸或浓硝酸钝化的铝金属箔作为阴极，一方面将使电解成本大大减少，同时也不降低电解用的阴极功能。而且另外，钝化后的铝阴极在实验中比传统的Pt阴极更不易附着污渍。
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公开(公告)号：CN105841849A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610181526.3
申请日：2016-03-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 一种柔性压力传感器与薄膜晶体管的集成器件及其制备方法，属于传感器领域。包括底层柔性衬底，位于底层柔性衬底之上的栅电极和压力传感器电极，位于栅电极之上的有源层，位于部分栅电极、部分底层柔性衬底、传感器电极之上的敏感层，位于有源层之上的绝缘层，位于绝缘层之上的源漏电极，覆盖源漏电极和敏感层的顶层封装层。本发明将压力传感器与薄膜晶体管集成在一起，压力传感器对压力的响应带来了电流值的改变，薄膜晶体管通过输出的电流值即可实现对压力的检测，该集成器件既实现了压力的检测，又能将信号进行放大输出，有效实现了传感器与电路的结合，且具有低成本、高灵敏度、低驱动电压、响应快、放大检测信号等优点。
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