一种基于MEMS的电容式压力传感器

    公开(公告)号:CN110482475A

    公开(公告)日:2019-11-22

    申请号:CN201910628306.4

    申请日:2019-07-12

    Abstract: 一种基于MEMS电容式压力传感器,其结构有三部分,包括:衬底,压力薄膜,固定下电极板,二氧化硅支撑层,悬臂上电级板,支撑柱、密封盖。其中衬底,感压薄膜,固定下电极板为第一部分;第二部分为二氧化硅支撑层;第三部分为悬臂上电极板,支撑柱、密封盖,完整传感器结构由这三部分通过键合而成。当感压薄膜受到外部压力时变形,通过支撑柱将悬臂梁向上顶,设悬臂上级板长度为L,支撑柱到支点距离为l,则薄膜受压后位移与悬臂上极板的位移之比为l/L,悬臂梁末端上电极板和固定下电极板之间间距放大,然后通过外部的软硬件测量出电容变化量,转化为压力值。本发明中通过支撑柱结构将悬臂梁末端的电极板将位移放大,增加了压力传感器灵敏度。

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