公开(公告)号：CN116248063A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202310239883.0

申请日：2023-03-14

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 涂程 ,  张婷杨 ,  张卓 ,  张晓升

IPC: H03H3/02 ,  H10N97/00 ,  H01L23/64 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02

Abstract: 本发明涉及声波滤波器技术领域，具体为一种高度集成的高带外抑制型声波滤波器及其制备方法。是在传统兰姆波谐振器的基础上，通过工艺集成片上螺旋电感，来降低片引入片外无源电感带来的高频寄生电容、电阻和电感等参数对器件产生的影响，实现了相同阶数滤波器条件下更好的带外抑制。在集成过程中，对衬底上的第一氧化层进行区域划分，使其同时作为谐振器牺牲层和螺旋电感的绝缘层，简化了制作工序，节约了制作时间。此外在材料选择方面，温度补偿层与绝缘区域、牺牲区域均为氧化材料，实现了同一芯片上同种材料的多功能使用，降低加工难度和成本。

公开(公告)号：CN115051676A

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN202210403883.5

申请日：2022-04-18

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 涂程 ,  张晓升 ,  张卓 ,  张婷杨

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/13 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明提供的一种高频兰姆波谐振器及其制备方法，属于声波谐振器技术领域，包括自下而上依次设置的具有空气腔的支撑衬底、粘结层、压电薄膜和介质层，介质层在对应空气腔区域设置顶部叉指电极，粘结层在对应空气腔区域设置与顶部叉指电极关于压电薄膜平面对称的底部叉指电极；压电薄膜在非对应空气腔区域设置两个穿孔电极，顶部叉指电极的两个电极分别通过对应穿孔电极与底部叉指电极的对应电极相连，构成两个电极对，对一个电极对的两个电极同时施加幅度和相位均相同的交流电压信号，使得压电薄膜内部产生平行于薄膜平面的激励电场，提高最大机电耦合系数，抑制杂散信号，同时利用介质层和粘结层材料降低温度对谐振器谐振频率的影响。