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公开(公告)号：CN106841119A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201611239414.5
申请日：2016-12-28
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/552
CPC classification number: G01N21/553
Abstract: 磁光等离子生物传感器，属于光学传感领域，特别涉及磁光表面等离子共振技术。本发明包括二氧化硅衬底和金层，在二氧化硅衬底上，在衬底和金层之间，至衬底至金层方向依次设置有：氮化钛层、二氧化硅层、钇铁石榴石层、掺铈钇铁石榴石层。本发明的有益效果是，结构新颖，品质因子高，材料稳定，不易氧化，结构简单，成本低。
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