公开(公告)号：CN107390356A

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201710749519.3

申请日：2017-08-28

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 李春 ,  周智飞 ,  李智斌 ,  何天应

IPC: G02B21/24 ,  G02B21/36

Abstract: 本发明公开了一种基于激光光斑图像自动聚焦的方法。该方法包括：(1)扩束光束；(2)修正光束光斑为半圆形，并使其圆心与物镜通光孔的圆心重合；(3)建立焦点曲线图，使图中的峰值处于X轴中点处；(4)采用步骤(3)中所述方法形成曲线图，通过曲线图峰值与X轴中心点位置关系，判断样品离焦距离与方向；(5)处理终端驱动调焦机构运动，使样品聚焦。本发明方法算法简单，聚焦速度远优于普通灰度聚焦方式，并且可根据一幅图像即可得出离焦方向与距离。

公开(公告)号：CN108681210A

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201810293308.8

申请日：2018-03-30

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 李春 ,  李智斌 ,  兰长勇 ,  周智飞 ,  何天应

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70383 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70091

Abstract: 本发明公开了一种小型激光直写光刻机，属于无掩膜光刻技术领域。该小型激光直写光刻机，包括：光纤激光器、分光镜组件、照明模块、自动聚焦模块、分别设置在聚焦镜组件上方和下方的摄像头和压电物镜、设置在分光镜组件和自动聚焦模块之间的双反射镜、以及分别与光纤激光器、自动聚焦模块和压电物镜通信连接的控制中心；分光镜组件包括由上至下依次层叠设置的第一分光镜、第二分光镜和第三分光镜。本发明采用光纤激光器、光纤准直器进行输出光的调节，降低了调整的复杂性，同时使用紧凑的笼式系统，在很大程度上缩小了系统体积，降低了系统的复杂度，同时缩减其它部分的体积如离焦探测系统等，最终实现了本系统小型化、紧凑式的系统结构。