公开(公告)号：CN106030779B

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201580009010.4

申请日：2015-02-17

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 罗杰·B·费许 ,  史蒂芬·恩尔拉 ,  陶德·路易斯·马克阿册恩

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种平台支撑结构以及平台，所述平台支撑结构被适配成使加热平台部分与冷底板绝热同时提供其间的基本上无泄漏的气体运输，且同时允许所述平台部分的热膨胀和收缩。所述支撑结构提供的各种实例提供：管状弯曲部，其具有内部气体导管；平台部分安装耳片，其连接到所述弯曲部并且具有与所述弯曲部的所述内部气体导管流体连通的内部气体输入狭槽，所述平台部分安装耳片适用于连接到平台的平台部分；以及底板安装耳片，其连接到所述弯曲部并且具有与所述弯曲部的所述内部气体导管流体连通的内部气体输出狭槽，所述底板安装耳片适用于连接到平台的底板。平台支撑结构提供加热平台部分与冷底板的强机械耦接、良好的热绝缘以及无泄漏气体运输。

公开(公告)号：CN106030779A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201580009010.4

申请日：2015-02-17

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 罗杰·B·费许 ,  史蒂芬·恩尔拉 ,  陶德·路易斯·马克阿册恩

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/31701 ,  H01L21/6833

Abstract: 一种平台支撑结构，所述平台支撑结构被适配成使加热平台部分与冷底板绝热同时提供其间的基本上无泄漏的气体运输，且同时允许所述平台部分的热膨胀和收缩。所述支撑结构提供的各种实例提供：管状弯曲部，其具有内部气体导管；平台部分安装耳片，其连接到所述弯曲部并且具有与所述弯曲部的所述内部气体导管流体连通的内部气体输入狭槽，所述平台部分安装耳片适用于连接到平台的平台部分；以及底板安装耳片，其连接到所述弯曲部并且具有与所述弯曲部的所述内部气体导管流体连通的内部气体输出狭槽，所述底板安装耳片适用于连接到平台的底板。