公开(公告)号：CN101802963A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200880106475.1

申请日：2008-08-25

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 卡森·D·泰克雷特萨迪克 ,  艾立克·D·赫尔曼森 ,  道格拉斯·梅 ,  史蒂夫·E·克劳斯 ,  拉塞尔·J·罗

IPC: H01J37/00

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/08

Abstract: 一种具有含介质鳍片的绝缘导体的离子植入机终端结构。在一实施例中，离子植入机终端结构可由含一个或多个介质鳍片的绝缘导体来实现。例如，离子植入机可包括配置成提供离子束的离子源。离子植入机还包括定义空腔的终端结构，其中离子源可至少部分地设置于空腔内。离子植入机还包括具有至少一介质鳍片的绝缘导体，此介质鳍片设置于终端结构的外部附近以改变电场。

公开(公告)号：CN101802963B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN200880106475.1

申请日：2008-08-25

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 卡森·D·泰克雷特萨迪克 ,  艾立克·D·赫尔曼森 ,  道格拉斯·梅 ,  史蒂夫·E·克劳斯 ,  拉塞尔·J·罗

IPC: H01J37/00

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/08

Abstract: 一种具有含介质鳍片的绝缘导体的离子植入机终端结构。在一实施例中，离子植入机终端结构可由含一个或多个介质鳍片的绝缘导体来实现。例如，离子植入机可包括配置成提供离子束的离子源。离子植入机还包括定义空腔的终端结构，其中离子源可至少部分地设置于空腔内。离子植入机还包括具有至少一介质鳍片的绝缘导体，此介质鳍片设置于终端结构的外部附近以改变电场。