公开(公告)号：CN109478487A

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201780045501.3

申请日：2017-07-21

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 克里斯多夫·鲁波利 ,  雪莉·A·德基 ,  丹尼尔·梅吉立克帝 ,  维克多·J·席瑞奥特 ,  可劳斯·贝克

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H05H7/06

Abstract: 一种操纵离子束的电极。所述电极可包括：嵌件，具有离子束开孔以经由所述离子束开孔传导所述离子束，所述嵌件包含第一导电材料；框架，设置在所述嵌件周围且包含第二导电材料；以及外侧部分，所述外侧部分围绕所述框架设置且包含第三导电材料，其中所述嵌件能够可逆地从所述框架拆卸，且其中所述框架能够可逆地附装到所述外侧部分。

公开(公告)号：CN109478487B

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN201780045501.3

申请日：2017-07-21

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 克里斯多夫·鲁波利 ,  雪莉·A·德基 ,  丹尼尔·梅吉立克帝 ,  维克多·J·席瑞奥特 ,  可劳斯·贝克

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H05H7/06

Abstract: 一种操纵离子束的电极、加速器柱以及包含上述的离子植入装置。所述电极可包括：嵌件，具有离子束开孔以经由所述离子束开孔传导所述离子束，所述嵌件包含第一导电材料；框架，设置在所述嵌件周围且包含第二导电材料；以及外侧部分，所述外侧部分围绕所述框架设置且包含第三导电材料，其中所述嵌件能够可逆地从所述框架拆卸，且其中所述框架能够可逆地附装到所述外侧部分。