公开(公告)号：CN111902906B

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN201980021401.6

申请日：2019-02-21

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 亚当·莫里茨·卡尔金斯 ,  小尼斯特·E·艾伦

IPC: H01J37/32 ,  H01J37/317 ,  H01L21/67 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明提供一种抽取板、抽取组及工件加工系统。所述抽取组，其包括抽取板、阻挡器及用于阻挡器的固持机构。所述抽取组包括抽取板，所述抽取板能够由涂布有陶瓷材料的钛构造而成。抽取板使用销附装到离子源。抽取板还包括位于其内表面中的隆起轮廓，所述隆起轮廓用于将阻挡器固定到抽取板的内表面。阻挡器的端部通过设置在抽取开孔的相对两侧上的两个固持器而固定。用于将抽取板附装到离子源的机构还改善抽取板的温度均匀性。

公开(公告)号：CN111902906A

公开(公告)日：2020-11-06

申请号：CN201980021401.6

申请日：2019-02-21

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 亚当·莫里茨·卡尔金斯 ,  小尼斯特·E·艾伦

IPC: H01J37/32 ,  H01J37/317 ,  H01L21/67 ,  H01L21/265

Abstract: 一种抽取组，其包括抽取板、阻挡器及用于阻挡器的固持机构。所述抽取组包括抽取板，所述抽取板能够由涂布有陶瓷材料的钛构造而成。抽取板使用销附装到离子源。抽取板还包括位于其内表面中的隆起轮廓，所述隆起轮廓用于将阻挡器固定到抽取板的内表面。阻挡器的端部通过设置在抽取开孔的相对两侧上的两个固持器而固定。用于将抽取板附装到离子源的机构还改善抽取板的温度均匀性。