公开(公告)号：CN112135977B

公开(公告)日：2022-08-16

申请号：CN201980033168.3

申请日：2019-04-29

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 丹尼尔·麦吉利卡迪 ,  詹姆士·P·布诺德诺

IPC: F16B5/06 ,  F16B5/00 ,  F16B2/06

Abstract: 本发明公开一种使用弹簧力来附接两个组件的紧固系统。具体而言，公开一种紧固系统及引出板总成。紧固系统利用O形环来提供弹簧力，因而不需要任何金属组件。O形环可设置在具有多个辐条的O形环保持器中。当受压缩时，辐条会对O形环形成压迫。辐条的数目以及其大小及形状决定紧固系统的弹簧力。在另一实施例中，利用垂直定向的O形环。紧固系统可用于紧固离子源的各种组件。

公开(公告)号：CN112135977A

公开(公告)日：2020-12-25

申请号：CN201980033168.3

申请日：2019-04-29

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 丹尼尔·麦吉利卡迪 ,  詹姆士·P·布诺德诺

IPC: F16B5/06 ,  F16B5/00 ,  F16B2/06

Abstract: 本发明公开一种使用弹簧力来附接两个组件的紧固系统。紧固系统利用O形环来提供弹簧力，因而不需要任何金属组件。O形环可设置在具有多个辐条的O形环保持器中。当受压缩时，辐条会对O形环形成压迫。辐条的数目以及其大小及形状决定紧固系统的弹簧力。在另一实施例中，利用垂直定向的O形环。紧固系统可用于紧固离子源的各种组件。