粘合片及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN113613893A

    公开(公告)日:2021-11-05

    申请号:CN202080020753.2

    申请日:2020-03-13

    Abstract: 本发明的课题在于提供粘合片及使用该粘合片的半导体装置的制造方法,所述粘合片能够通过加热将临时固定着的被粘附物容易地剥离、而且能够抑制剥离后的被粘附物表面的污染,为此,本发明形成了下述粘合片:具有依次配置有粘合剂层(X1)、包含热膨胀性粒子的热膨胀性基材层(Y1)、及非热膨胀性基材层(Y2)的层叠结构,上述粘合剂层(X1)在23℃下的杨氏模量为5.0MPa以下,上述非热膨胀性基材层(Y2)在23℃下的杨氏模量高于上述粘合剂层(X1)在23℃下的杨氏模量。

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