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公开(公告)号：CN104540979A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201380042608.4
申请日：2013-09-12
Applicant: 琳得科株式会社
CPC classification number: H01J37/04 , C23C14/48 , C23C14/562 , H01J37/3171 , H01J37/32412 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/3277 , H05H1/46 , H05H2001/485
Abstract: 离子注入装置具备真空腔(11)、在外周部的一部分缠绕膜(2)的电极辊(13)、对电极辊施加电压的电压施加单元(21)、以及向真空腔内导入气体的气体导入单元(31)，通过电压施加单元对电极辊施加电压，并且通过气体导入单元导入气体而形成等离子体，在膜的表面进行离子注入处理，其中，与电极辊的缠绕膜的面相向地设置有电极部件(42)。
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公开(公告)号：CN104540979B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380042608.4
申请日：2013-09-12
Applicant: 琳得科株式会社
CPC classification number: H01J37/04 , C23C14/48 , C23C14/562 , H01J37/3171 , H01J37/32412 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/3277 , H05H1/46 , H05H2001/485
Abstract: 离子注入装置具备真空腔(11)、在外周部的一部分缠绕膜(2)的电极辊(13)、对电极辊施加电压的电压施加单元(21)、以及向真空腔内导入气体的气体导入单元(31)，通过电压施加单元对电极辊施加电压，并且通过气体导入单元导入气体而形成等离子体，在膜的表面进行离子注入处理，其中，与电极辊的缠绕膜的面相向地设置有电极部件(42)。
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公开(公告)号：CN104540978B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380042607.X
申请日：2013-09-12
Applicant: 琳得科株式会社
CPC classification number: H01J37/3171 , C23C14/48 , C23C14/562 , H01J37/32 , H01J37/32412 , H01J37/3244 , H01J37/3277 , H01J2237/006 , H01J2237/18 , H01J2237/31701 , H05H1/46 , H05H2001/485
Abstract: 离子注入装置具备真空腔(11)；在外周部的一部分卷绕了薄膜(3)的电极辊(13)；向电极辊施加电压的电压施加构件(23)；具有用于向真空腔内导入离子注入气体的气体吹出口的气体导入部，气体导入部和排气口在电极辊的轴方向，隔着电极辊相向地被设置。
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公开(公告)号：CN104540978A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201380042607.X
申请日：2013-09-12
Applicant: 琳得科株式会社
CPC classification number: H01J37/3171 , C23C14/48 , C23C14/562 , H01J37/32 , H01J37/32412 , H01J37/3244 , H01J37/3277 , H01J2237/006 , H01J2237/18 , H01J2237/31701 , H05H1/46 , H05H2001/485
Abstract: 离子注入装置具备真空腔(11)；在外周部的一部分卷绕了薄膜(3)的电极辊(13)；向电极辊施加电压的电压施加构件(23)；具有用于向真空腔内导入离子注入气体的气体吹出口的气体导入部，气体导入部和排气口在电极辊的轴方向，隔着电极辊相向地被设置。
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