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公开(公告)号：CN104108606A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410160849.5
申请日：2014-04-21
Applicant: 现代重工业株式会社
Inventor： 金兑炫 , 金东赫 , 金祥铉
IPC: B65G49/05
Abstract: 本发明涉及基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法，基板搬运装置包括：支撑部，用于支撑基板；臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；以及驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部，其中，在所述驱动部移动所述支撑部的过程中，朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向移动支撑部。
