工作台、高速真空工作台系统及高速真空形成方法

    公开(公告)号:CN101794067B

    公开(公告)日:2011-11-02

    申请号:CN200910149662.4

    申请日:2009-06-10

    CPC classification number: G03B27/32

    Abstract: 本发明涉及一种工作台、高速真空工作台系统及高速真空形成方法。该工作台包括:一个上表面,所述上表面具有一组开口;一个位于所述上表面之下的密闭风室;和一个大孔阀,所述大孔阀用于连接所述密闭风室和一个高速真空泵。该高速真空工作台系统包括:一个工作台,所述工作台包括:一个具有一组开口的上表面,一个位于所述上表面之下的密闭风室,及一个可置换的大孔阀,所述大孔阀的内径至少为25mm,所述大孔阀用于将所述密闭风室连接到大气和一个高速真空泵;一个与所述大孔阀相连的高速真空泵。该高速真空形成方法,适用于本发明工作台和高速真空工作台系统。本发明提高了PCB的流水生产效率。

    基板自动传送系统和方法

    公开(公告)号:CN101794076B

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN200910149167.3

    申请日:2009-06-10

    CPC classification number: H05K13/0061

    Abstract: 本发明涉及用于运送基板通过曝光系统的基板自动传送系统和方法。该系统包括:一个第一工作台,其上表面设有允许气流形成气膜以承载基板的多个孔;一个翻转模块,其被配置为从所述第一工作台接收所述基板并旋转从而翻转所述基板,该模块具有一上内表面和一下内表面,其中所述上、下内表面均设有用于形成气膜以承载所述基板的多个孔;一个第二工作台,用于从所述翻转模块接收所述基板,所述第二工作台的上表面设有允许气流形成气膜以承载基板的多个孔。该方法包括与该系统相应的使用步骤。在该系统和方法中,基板均在气膜上被传送,避免了由接触而导致的基板刮伤和粘稠物质的转移,继而提高了PCB的流水生产效率。

    基板自动传送系统和方法

    公开(公告)号:CN101794076A

    公开(公告)日:2010-08-04

    申请号:CN200910149167.3

    申请日:2009-06-10

    CPC classification number: H05K13/0061

    Abstract: 本发明涉及用于运送基板通过曝光系统的基板自动传送系统和方法。该系统包括:一个第一工作台,其上表面设有允许气流形成气膜以承载基板的多个孔;一个翻转模块,其被配置为从所述第一工作台接收所述基板并旋转从而翻转所述基板,该模块具有一上内表面和一下内表面,其中所述上、下内表面均设有用于形成气膜以承载所述基板的多个孔;一个第二工作台,用于从所述翻转模块接收所述基板,所述第二工作台的上表面设有允许气流形成气膜以承载基板的多个孔。该方法包括与该系统相应的使用步骤。在该系统和方法中,基板均在气膜上被传送,避免了由接触而导致的基板刮伤和粘稠物质的转移,继而提高了PCB的流水生产效率。

    工作台、高速真空工作台系统及高速真空形成方法

    公开(公告)号:CN101794067A

    公开(公告)日:2010-08-04

    申请号:CN200910149662.4

    申请日:2009-06-10

    CPC classification number: G03B27/32

    Abstract: 本发明涉及一种工作台、高速真空工作台系统及高速真空形成方法。该工作台包括:一个上表面,所述上表面具有一组开口;一个位于所述上表面之下的密闭风室;和一个大孔阀,所述大孔阀用于连接所述密闭风室和一个高速真空泵。该高速真空工作台系统包括:一个工作台,所述工作台包括:一个具有一组开口的上表面,一个位于所述上表面之下的密闭风室,及一个可置换的大孔阀,所述大孔阀的内径至少为25mm,所述大孔阀用于将所述密闭风室连接到大气和一个高速真空泵;一个与所述大孔阀相连的高速真空泵。该高速真空形成方法,适用于本发明工作台和高速真空工作台系统。本发明提高了PCB的流水生产效率。

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