公开(公告)号：CN103328952B

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201180065674.4

申请日：2011-11-15

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  信越化学工业株式会社

Inventor： 藤卷真 ,  秋山昌次 ,  永田和寿

IPC: G01N21/27

CPC classification number: G01N21/553

Abstract: 【问题】通过利用光谱测量方法实现最适合光学波导模式传感器的光学系统，提供小尺寸、稳定和高度灵敏的检测装置。【解决方案】一种检测装置包括：检测板，其中硅层和二氧化硅层以这个次序被布置在石英玻璃基板上；光学棱镜，其可选地粘附到检测板的石英玻璃基板的表面，其中所述表面不提供硅层和二氧化硅层；光照射单元，其配置为将光穿过光学棱镜照射到检测板，并布置成使光以固定的入射角入射在光学棱镜上；以及光检测单元，其配置为检测从检测板反射的反射光的强度，其中通过检测反射光的特性的变化，检测装置检测检测板的二氧化硅层的表面附近的介电常数的变化，并且其中在光学棱镜中，入射表面和粘附到检测板的粘附表面之间的角度是43°或更小，自光照射单元照射的光入射在所述入射表面上。

公开(公告)号：CN103328952A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201180065674.4

申请日：2011-11-15

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  信越化学工业株式会社

Inventor： 藤卷真 ,  秋山昌次 ,  永田和寿

IPC: G01N21/27

CPC classification number: G01N21/553

Abstract: 通过利用波长解析测量方法实现最适合光学波导模式传感器的光学系统，提供小尺寸、稳定和高度灵敏的检测装置。一种检测装置包括：检测板，其中硅层和二氧化硅层以这个次序被布置在石英玻璃基板上；光学棱镜，其可选地粘附到检测板的石英玻璃基板的表面，其中所述表面不提供硅层和二氧化硅层；光照射单元，其配置为将光穿过光学棱镜照射到检测板，并布置成使光以恒定的入射角入射在光学棱镜上；以及光检测单元，其配置为检测从检测板反射的反射光的强度，其中通过检测反射光的特性的变化，检测装置检测检测板的二氧化硅层的表面附近的介电常数的变化，并且其中在光学棱镜中，入射表面和粘附到检测板的粘附表面之间的角度是43°或更小，自光照射单元照射的光入射在所述入射表面上。