用于防止熔体污染的拉晶机

    公开(公告)号:CN107075717A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201580050447.2

    申请日:2015-09-18

    IPC分类号: C30B15/02

    摘要: 一种用于生长晶锭的拉晶机,该拉晶机包括壳体、隔离装置、坩埚组件、隔热罩和灰尘阻隔装置。该壳体包围生长室,并且具有上壁,该上壁具有内表面和孔。该隔离装置将壳体的内部分成上部区域和下部区域,并且具有中心开口。坩埚组件位于下部区域中以容纳熔体。隔热罩邻近隔离装置的中心开口,并且与坩埚组件构成迷宫式气体路径。灰尘阻隔装置从上壁的内表面延伸到隔离装置和隔热罩中的一个,并且围绕该孔与上壁构成密封,以阻止颗粒物通过壳体的上部区域进入生长室。