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公开(公告)号：CN101123423B
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200710140333.4
申请日：2007-08-09
申请人： 爱普生拓优科梦株式会社
CPC分类号： H03H9/177 , H03H3/04 , H03H9/02007 , H03H9/02102 , H03H9/0595 , H03H9/19 , Y10T29/42
摘要： 本发明提供一种AT切割水晶振动片及其制造方法。本发明制造抑制了宽度切变模式的影响并改善了能量捕获效果的AT切割水晶振动片。AT切割水晶振动片具有由AT切割水晶板构成的水晶元件片及在其表面和背面主面设置的一对激励电极，AT切割水晶板构成为在水晶结晶的X轴方向具有长边的矩形，且其长边方向的侧面由作为水晶自然面的m面的第一结晶面和作为m面以外的自然面的第三结晶面两个面形成。水晶元件片的外形加工通过以下方式进行：在AT切割水晶板的表面和背面各面上以在水晶结晶的Z′轴方向彼此错位的方式形成与其外形对应的掩模，并从表面和背面两面进行湿法刻蚀。水晶元件片可形成为由作为激励部的较厚中央部和较薄周边部构成的台形状。
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公开(公告)号：CN1960178A
公开(公告)日：2007-05-09
申请号：CN200610142790.2
申请日：2006-10-31
申请人： 爱普生拓优科梦株式会社
IPC分类号： H03H9/19
CPC分类号： H03H9/17 , H03H3/04 , H03H9/02157 , H03H9/177 , H03H2003/0435
摘要： 本发明提供了一种台面型压电振动片，其选择了适合于压电基板尺寸的台面蚀刻深度。本发明的台面型压电振动片是在形成为矩形状的压电基板12的板面上具有厚度尺寸比周边部16大的振动部14的台面型压电振动片10，上述的振动部14形成为，阶梯部位于压电基板12中生成的弯曲模式的波腹位置。另外，其特征在于，如果用于形成上述阶梯部的蚀刻深度的最小值Md_min以y表示，则设压电基板12的长边的长度为x，振动部14的板厚为t时，以板厚t为基准，蚀刻深度y满足y=－1.32×(x/t)+43±5(%)的关系。
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公开(公告)号：CN101123423A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710140333.4
申请日：2007-08-09
申请人： 爱普生拓优科梦株式会社
CPC分类号： H03H9/177 , H03H3/04 , H03H9/02007 , H03H9/02102 , H03H9/0595 , H03H9/19 , Y10T29/42
摘要： 本发明提供一种AT切割水晶振动片及其制造方法。本发明制造抑制了宽度切变模式的影响并改善了能量捕获效果的AT切割水晶振动片。AT切割水晶振动片具有由AT切割水晶板构成的水晶元件片及在其表面和背面主面设置的一对激励电极，AT切割水晶板构成为在水晶结晶的X轴方向具有长边的矩形，且其长边方向的侧面由作为水晶自然面的m面的第一结晶面和作为m面以外的自然面的第三结晶面两个面形成。水晶元件片的外形加工通过以下方式进行：在AT切割水晶板的表面和背面各面上以在水晶结晶的Z′轴方向彼此错位的方式形成与其外形对应的掩模，并从表面和背面两面进行湿法刻蚀。水晶元件片可形成为由作为激励部的较厚中央部和较薄周边部构成的台形状。
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公开(公告)号：CN100511992C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200610142790.2
申请日：2006-10-31
申请人： 爱普生拓优科梦株式会社
IPC分类号： H03H9/19
CPC分类号： H03H9/17 , H03H3/04 , H03H9/02157 , H03H9/177 , H03H2003/0435
摘要： 本发明提供了一种台面型压电振动片，其选择了适合于压电基板尺寸的台面蚀刻深度。本发明的台面型压电振动片是在形成为矩形状的压电基板12的板面上具有厚度尺寸比周边部16大的振动部14的台面型压电振动片10，上述的振动部14形成为，阶梯部位于压电基板12中生成的弯曲模式的波腹位置。另外，其特征在于，如果用于形成上述阶梯部的蚀刻深度的最小值Md_min以y表示，则设压电基板12的长边的长度为x，振动部14的板厚为t时，以板厚t为基准，蚀刻深度y满足y＝-1.32×(x/t)+43±5(%)的关系。
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