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1.

发明公开
基板保持装置无效

公开(公告)号：CN102036529A

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN201010295595.X

申请日：2010-09-21

Applicant: 爱信精机株式会社

Inventor： 斋木俊佑 , 内藤刚 , 浅野义

IPC: H05K7/14

CPC classification number: H05K7/1417

Abstract: 一种基板保持装置，包括：具有箱体本体(11)和箱体盖(12)的箱体(10)；多个基板(13，14，15)，沿基板(13，14，15)的厚度方向被保持于箱体(10)中；以及形成于箱体本体(11)上的多个支撑部(21，22，23)，多个支撑部根据多个支撑部的端面(21a，22a，23a)在厚度方向上的高度被分为多个支撑部组，在多个支撑部组中的每一组中所述端面的高度彼此相同，所述多个基板中的一个基板由在多个支撑部组的一组中的支撑部的端面支撑并且包括由导槽(13c)形成的周缘部，在多个支撑部组的另一组中的支撑部沿厚度方向被插入到导槽中，在多个支撑部组的这一组中的支撑部的端面的高度低于在多个支撑部组的该另一组中的支撑部的端面的高度。

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