公开(公告)号：CN108866624A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201810802771.0

申请日：2018-07-20

Applicant: 燕山大学

Inventor： 徐朝鹏 ,  孙璐 ,  田东升 ,  边飞 ,  王健 ,  王海燕

IPC: C30B29/12 ,  C30B28/14 ,  C23C14/06 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明属于材料技术领域，涉及一种铅掺杂一碘化铟多晶薄膜的制备方法，其具体包括以下步骤：S1、将预设浓度比的铅、铟和碘采用两温区气相合成法合成铅掺杂一碘化铟多晶；S2、将铅掺杂一碘化铟多晶研磨成粉末，放入坩埚内作为蒸发源；S3、将玻璃片作为蒸镀沉淀衬底，悬挂在坩埚上方25cm处；S4、将坩埚和玻璃片放入热蒸发真空腔室，控制腔室的背底真空度达到1.5×10‑3Pa以下；S5、在薄膜生长过程中，实时监测加热速率和蒸镀厚度，以20℃/min的速率加热蒸发源至50～90℃，控制薄膜沉积速率在沉积得到800nm的铅掺杂一碘化铟多晶薄膜；S6、将步骤S5得到的铅掺杂一碘化铟多晶薄膜冷却至室温，完成薄膜的制备。