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公开(公告)号：CN116540377B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202310622053.6
申请日：2023-05-30
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明提供了一种电控变焦的片上集成超透镜，属于光电子器件与集成技术领域，包括基于槽型波导阵列的超透镜结构和基于金属电阻的电控加热器结构；其中，所述基于槽型波导阵列的超透镜结构用于实现片上光束聚焦，所述基于金属电阻线的电控加热器结构通过设计电阻线的几何形状来精准控制波导的温度，从而实现波导局部有效折射率的调控，最终通过对加热器施加不同电功率来实现聚焦光束的前后移动。本发明仅需两个加热器即可实现片上聚焦光束的变焦功能，显著减少电极数量，电控方案简单，且该方案与标准硅光子工艺平台完全兼容，有望集成应用于波束整形、片上交换开关网络和可重构光子集成系统。
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公开(公告)号：CN116609877A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310621648.X
申请日：2023-05-30
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明提供了一种基于双层刻蚀曲线优化的超带宽多模弯曲波导，属于光子器件与集成技术领域，构建在绝缘体上的硅平台SOI上，由上至下包括包层，波导层和基底层，所述波导层设置为经浅刻蚀工艺形成的窄波导层和经深刻蚀工艺形成的宽波导层，窄波导层和宽波导层为宽度不同的曲线层，窄波导层和宽波导层形成四条内径和外径轮廓曲线，四条内径和外径轮廓曲线离散为多个弧线，通过窄波导层形成的内径轮廓曲线包括自由曲线C和自由曲线D，通过宽波导层形成的外径轮廓曲线包括自由曲线A和自由曲线B。本发明提出的多模弯曲波导具有器件尺寸小、工作带宽高、可制备性好、工艺容差大等优点，可应用于片上多波段和密集集成的模分复用系统。
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公开(公告)号：CN116540377A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310622053.6
申请日：2023-05-30
Applicant: 燕山大学
Abstract: 本发明提供了一种电控变焦的片上集成超透镜，属于光电子器件与集成技术领域，包括基于槽型波导阵列的超透镜结构和基于金属电阻的电控加热器结构；其中，所述基于槽型波导阵列的超透镜结构用于实现片上光束聚焦，所述基于金属电阻线的电控加热器结构通过设计电阻线的几何形状来精准控制波导的温度，从而实现波导局部有效折射率的调控，最终通过对加热器施加不同电功率来实现聚焦光束的前后移动。本发明仅需两个加热器即可实现片上聚焦光束的变焦功能，显著减少电极数量，电控方案简单，且该方案与标准硅光子工艺平台完全兼容，有望集成应用于波束整形、片上交换开关网络和可重构光子集成系统。
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