一种用于太阳能电池正膜预处理结构及预处理方法

    公开(公告)号:CN118136733A

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202410283476.4

    申请日:2024-03-13

    发明人: 彭宇 吴宇 徐明靖

    IPC分类号: H01L31/18 H01L31/0216

    摘要: 本发明公开一种用于太阳能电池正膜预处理结构及预处理方法,包括减反射机构,减反射机构位于复合氮化硅层临近硅基底的一侧与氧化铝层之间,所述减反射机构由石墨舟在M1摄氏度以及S1Pa的炉内通入L1sccm氨气后反应T1时间制成,该种用于太阳能电池正膜预处理结构及预处理方法,替代传统的太阳能电池正膜镀层钝化的方式,避免了原先进行高温烧结后,钝化效果减弱,影响太阳能电池转化效率的问题。