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公开(公告)号：CN110508932B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201910873740.9
申请日：2019-09-16
Applicant: 湘潭大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/064
Abstract: 本发明涉及一种飞秒激光湿法刻蚀在氮化镓表面加工微结构阵列的方法。属于飞秒激光应用领域；通过将飞秒激光脉冲聚焦到氮化镓表面，在氮化镓表面上以飞秒激光脉冲作用点为中心产生一个光破坏区，然后按照所加工图案编写三维平移台控制程序，实现在氮化镓表面加工出所需的图案；再将加工后的氮化镓浸入氢氧化钾溶液中进行刻蚀，光破坏区与氢氧化钾溶液反应的速率与其它区域不同，最终以光破坏区为中心在氮化镓表面形成六边形微结构。本发明通过飞秒激光与湿法刻蚀工艺相结合，首先利用飞秒激光在氮化镓表面产生一个光破坏区，然后再利用氮化镓的晶体学湿法刻蚀特性，对加工后的材料进行湿法刻蚀；最终实现在氮化镓表面加工六边形微结构阵列。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112719607A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011489533.2
申请日：2020-12-16
Applicant: 湘潭大学
IPC: B23K26/362 , H01L21/3065
Abstract: 本发明涉及一种飞秒激光辅助干法刻蚀加工氮化镓的方法，该方法实现氮化镓材料微结构的制备。首先利用飞秒激光作用在氮化镓材料表面形成一个烧蚀弹坑，实现氮化镓材料局部区域改性；随后在氯气和三氯化硼混合气体的氛围中，采用感应耦合等离子体干法刻蚀的方法对飞秒激光加工后的氮化镓材料进行物理、化学刻蚀，由于飞秒激光辐照后使得氮化镓材料性质发生改变，导致感应耦合等离子体干法刻蚀对飞秒激光辐照后形成的改性区与未改性区的刻蚀速率不同，最终在飞秒激光改性区形成微结构。本发明提供了一种加工方式简单、低成本的方法加工氮化镓材料。
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公开(公告)号：CN112719607B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202011489533.2
申请日：2020-12-16
Applicant: 湘潭大学
IPC: B23K26/362 , H01L21/3065
Abstract: 本发明涉及一种飞秒激光辅助干法刻蚀加工氮化镓的方法，该方法实现氮化镓材料微结构的制备。首先利用飞秒激光作用在氮化镓材料表面形成一个烧蚀弹坑，实现氮化镓材料局部区域改性；随后在氯气和三氯化硼混合气体的氛围中，采用感应耦合等离子体干法刻蚀的方法对飞秒激光加工后的氮化镓材料进行物理、化学刻蚀，由于飞秒激光辐照后使得氮化镓材料性质发生改变，导致感应耦合等离子体干法刻蚀对飞秒激光辐照后形成的改性区与未改性区的刻蚀速率不同，最终在飞秒激光改性区形成微结构。本发明提供了一种加工方式简单、低成本的方法加工氮化镓材料。
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公开(公告)号：CN110508932A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910873740.9
申请日：2019-09-16
Applicant: 湘潭大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/064
Abstract: 本发明涉及一种飞秒激光湿法刻蚀在氮化镓表面加工微结构阵列的方法。属于飞秒激光应用领域；通过将飞秒激光脉冲聚焦到氮化镓表面，在氮化镓表面上以飞秒激光脉冲作用点为中心产生一个光破坏区，然后按照所加工图案编写三维平移台控制程序，实现在氮化镓表面加工出所需的图案；再将加工后的氮化镓浸入氢氧化钾溶液中进行刻蚀，光破坏区与氢氧化钾溶液反应的速率与其它区域不同，最终以光破坏区为中心在氮化镓表面形成六边形微结构。本发明通过飞秒激光与湿法刻蚀工艺相结合，首先利用飞秒激光在氮化镓表面产生一个光破坏区，然后再利用氮化镓的晶体学湿法刻蚀特性，对加工后的材料进行湿法刻蚀；最终实现在氮化镓表面加工六边形微结构阵列。
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公开(公告)号：CN113600978B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202110971790.8
申请日：2021-08-20
Applicant: 湘潭大学
Abstract: 本发明属于电弧增材制造领域，公开了一种基于电弧增材制造提高强度和耐磨性的一体成形方法。其特征在于，以硅酸钠溶液为基质，在其中加入特定比例氧化铝颗粒制成氧化铝涂层，将混合均匀的氧化铝涂层基料均匀的涂覆在打磨好的基板上，之后将带有涂层的基板在恒温条件下干燥，最后用GMAW(熔化极气体保护焊)在基板上增材制造一体成形。本发明在电弧增材制造过程中添加氧化铝颗粒，在弥散强化的作用下，提升熔覆层的强度与耐磨性；本发明目的在于改善现存在的电弧增材制造零部件由于受焊丝种类与制造工艺限制而无法达到特定性能，致使电弧增材制造技术缺少灵活性的问题。
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公开(公告)号：CN113600978A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110971790.8
申请日：2021-08-20
Applicant: 湘潭大学
Abstract: 本发明属于电弧增材制造领域，公开了一种基于电弧增材制造提高强度和耐磨性的一体成形方法。其特征在于，以硅酸钠溶液为基质，在其中加入特定比例氧化铝颗粒制成氧化铝涂层，将混合均匀的氧化铝涂层基料均匀的涂覆在打磨好的基板上，之后将带有涂层的基板在恒温条件下干燥，最后用GMAW(熔化极气体保护焊)在基板上增材制造一体成形。本发明在电弧增材制造过程中添加氧化铝颗粒，在弥散强化的作用下，提升熔覆层的强度与耐磨性；本发明目的在于改善现存在的电弧增材制造零部件由于受焊丝种类与制造工艺限制而无法达到特定性能，致使电弧增材制造技术缺少灵活性的问题。
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