公开(公告)号：CN108723581B

公开(公告)日：2020-09-25

申请号：CN201810622148.7

申请日：2018-06-15

Applicant: 湖南大学

Inventor： 宋立军 ,  赵泽旭 ,  肖辉 ,  王尉 ,  刘璇 ,  刘星伯

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明涉及一种双涡旋电场辅助超快激光加工系统与加工方法。系统包括超快激光器、偏振调制镜片、光束放大器、聚焦镜片、同轴吸气装置、双螺旋电极和五轴位移平台。该方法包含如下步骤：先将工件装夹于固定着双螺旋电极的五轴位移平台上；再电源连接双螺旋电极，通过控制电源电压使双螺旋电极产生0‑105V/m的双涡旋电场；开启超快激光器，激光束经偏振调制、光束放大、反射聚焦后穿过双涡旋电场作用于工件表面，同时在工件上方同轴吸气，将等离子体去除。本发明利用双涡旋电场现对等离子体的运动控制，结合同轴吸气，实现高效、高质量的激光微纳加工及激光打孔。

公开(公告)号：CN108723581A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810622148.7

申请日：2018-06-15

Applicant: 湖南大学

Inventor： 宋立军 ,  赵泽旭 ,  肖辉 ,  王尉 ,  刘璇 ,  刘星伯

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明涉及一种双涡旋电场辅助超快激光加工系统与加工方法。系统包括超快激光器、偏振调制镜片、光束放大器、聚焦镜片、同轴吸气装置、双螺旋电极和五轴位移平台。该方法包含如下步骤：先将工件装夹于固定着双螺旋电极的五轴位移平台上；再电源连接双螺旋电极，通过控制电源电压使双螺旋电极产生0-105V/m的双涡旋电场；开启超快激光器，激光束经偏振调制、光束放大、反射聚焦后穿过双涡旋电场作用于工件表面，同时在工件上方同轴吸气，将等离子体去除。本发明利用双涡旋电场现对等离子体的运动控制，结合同轴吸气，实现高效、高质量的激光微纳加工及激光打孔。