一种用于SIC衬底用氧化铝CMP抛光液及其制备方法

    公开(公告)号:CN117186776A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202311024045.8

    申请日:2023-08-15

    IPC分类号: C09G1/02

    摘要: 本发明涉及一种用于SIC衬底用氧化铝CMP抛光液及其制备方法,所述抛光液包括以下重量份的原料:8—10份氧化铝粉末,8—10份悬浮剂,8.5—10份分散剂,4—5份pH值调节剂,5—6份氧化剂,4—5份消泡剂,75—80份去离子水;所述分散剂是脂肪醇醚磷酸酯、脂肪醇醚磷酸酯钾盐、异十三醇磷酸酯、聚乙二醇硬脂酸酯、聚乙二醇月硅酸酯和聚乙二醇油酸酯的一种或几种的混合物。本发明不仅够实现氧化铝微粉的充分分散与稳定悬浮,不存在任何团聚现象,从而避免研磨过程中产生异常划伤,影响抛光质量,而且采用碱性的抛光液,可以有效的保护设备的损伤,延长设备的使用寿命并且加强加工精度。

    一种多级离子交换树脂罐的控制方法、系统及存储介质

    公开(公告)号:CN116571284B

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202310860590.4

    申请日:2023-07-14

    IPC分类号: B01J47/14 G05B11/42

    摘要: 本发明涉及一种多级离子交换树脂罐的控制方法、系统及存储介质,所述方法包括H1.生产线启动,基于各级离子交换树脂罐上的流量传感器,获取硅酸钠溶液的流量数据信息,基于各级离子交换树脂罐上的计时器,获取当前树脂罐的过滤时间数据信息;H2.将所述硅酸钠溶液的流量数据信息和所述当前树脂罐的过滤时间数据信息输入神经网络建立的混合离子交换树脂罐中硅溶胶液体电导率的系统辨识模型进行训练和学习,输出当前树脂罐的电导率数据信息;H3.将所述当前树脂罐的电导率数据信息输入比例阀模型进行仿真训练。本发明不仅能产出电导率低于20μs/cm、PH值为中性的高品质除盐硅溶胶,而且提高了硅溶胶的生产效率。

    一种应用于硅溶胶上料的灌装优化控制系统

    公开(公告)号:CN118833482A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202410998551.5

    申请日:2024-07-24

    发明人: 肖伟 肖凯

    摘要: 本发明涉及一种应用于硅溶胶上料的灌装优化控制系统,包括硅溶胶储料罐、灌装车和桁架机械手,所述硅溶胶储料罐通过管道与加料泵连接,所述加料泵通过管道与所述桁架机械手连接,所述系统还包括:数据获取模块,用于罐装车搭载容器桶行驶至灌装区域,基于桁架机械手上的摄像头实时获取容器桶的图像数据信息,基于加料泵上的流量传感器实时获取硅溶胶的流量数据信息;图像处理模块,与所述数据处理模块连接。本发明不仅在灌装过程中,能够根据容器桶的体积或形状的不同,对硅溶胶的流量进行优化,保证填料不会溢出或喷出,而且硅溶胶的流量会进行适应性调整,保证灌装的稳定性,提高灌装的效率。

    一种多级离子交换树脂罐的控制方法、系统及存储介质

    公开(公告)号:CN116571284A

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202310860590.4

    申请日:2023-07-14

    IPC分类号: B01J47/14 G05B11/42

    摘要: 本发明涉及一种多级离子交换树脂罐的控制方法、系统及存储介质,所述方法包括H1.生产线启动,基于各级离子交换树脂罐上的流量传感器,获取硅酸钠溶液的流量数据信息,基于各级离子交换树脂罐上的计时器,获取当前树脂罐的过滤时间数据信息;H2.将所述硅酸钠溶液的流量数据信息和所述当前树脂罐的过滤时间数据信息输入神经网络建立的混合离子交换树脂罐中硅溶胶液体电导率的系统辨识模型进行训练和学习,输出当前树脂罐的电导率数据信息;H3.将所述当前树脂罐的电导率数据信息输入比例阀模型进行仿真训练。本发明不仅能产出电导率低于20μs/cm、PH值为中性的高品质除盐硅溶胶,而且提高了硅溶胶的生产效率。

    一种硅溶胶生产浓缩装置

    公开(公告)号:CN217016110U

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202123379073.0

    申请日:2021-12-30

    发明人: 肖凯 肖伟

    IPC分类号: B01D61/18

    摘要: 本实用新型公开了一种硅溶胶生产浓缩装置,涉及硅溶胶生产技术领域,该硅溶胶生产浓缩装置,包括多组超滤膜组件、进料总管和出料总管,各组所述超滤膜组件的进料口均连接至进料总管上分流,每组所述超滤膜组件的出料口均独立连接至对应储料罐的入口,所述储料罐由柱形罐、锥形罐以及支管依次沿轴向从上往下衔接组成,所述支管为储料罐的出料端,且支管沿主管方向和侧管方向均设有排料口。本实用新型通过设置储料罐、电动通断阀一、电动通断阀二、电导率检测仪以及取样观察装置,解决了浓缩装置对硅溶胶制备时可能存在浓度不合格、品质不佳的硅溶胶成品,需要将品质不佳的硅溶胶成品与合格的硅溶胶成品检测分离的问题。

    一种硅溶胶生产用新型锅炉

    公开(公告)号:CN210088814U

    公开(公告)日:2020-02-18

    申请号:CN201920580042.5

    申请日:2019-04-26

    发明人: 肖凯 肖伟

    IPC分类号: F22B31/08 F23J1/06

    摘要: 一种硅溶胶生产用新型锅炉,包括锅炉压力壳体,所述锅炉压力壳体的左侧固接有进液管,所述锅炉压力壳体的顶部右侧固接有蒸汽出管,所述锅炉压力壳体内设有隔板,隔板上设有蒸汽通孔,所述隔板上面是蒸汽室,隔板下面是沸水室,沸水室内设有燃烧胆,所述燃烧胆的底部固接有绞龙壳,所述绞龙壳内腔设有绞龙,所述燃烧胆与绞龙壳连接部设有碳灰落孔;所述燃烧胆的右端与烟管连接,烟管穿过隔板,在蒸汽室弯折排布后,其末端穿过锅炉压力壳体,所述锅炉压力壳体的左侧设有燃烧器壳体,燃烧器壳体内设有燃烧器。本实用新型结构简单,使用方便,可以高效的为硅溶胶生产用反应釜高效地提供蒸汽。本实用新型通过通过调整风机的风速、节流阀的开闭大小,可以将燃烧效率调整至最佳状态。其烟管设置为迂回型态,可充分将烟气中的热量传递给蒸汽室,可有效节约能源。

    硅溶胶闭循环反应釜
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205241251U

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201521057322.6

    申请日:2015-12-18

    IPC分类号: C01B33/14

    摘要: 一种硅溶胶闭循环反应釜,主要由内罐、外罐构成,其特征是所述内罐的顶端设有进料口和空气循环弯管,进料口与穿过外罐的进料导管连接,内罐内设有电热盘管,内罐的上部设有循环喷头,循环喷头喷头底部设有多个微孔,内罐的底端设有出料口,所述循环喷头通过上导液管与循环泵连接,循环泵通过下导液管、排料三向阀与排液口连接,所述外罐的罐壁上设有冷却管进口和冷却管出口。本实用新型具有设计合理,自动化程度高,生产过程无污染等特点。

    一种污水沉淀反应釜
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205170566U

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201520950695.X

    申请日:2015-11-25

    IPC分类号: C02F9/04 C02F11/12

    摘要: 一种污水沉淀反应釜,污水经过一级沉淀反应釜中污水布散器曝气处理后,其生物活性进一步增加,经过絮凝沉淀后,沉淀物与污水加速分离,污水进入二级清水处理釜,再经过絮凝沉淀,污水得到进一步的处理,净化后的水可以直接排入城市雨水管网;经过两级沉淀后的污泥由高压泵直接输送至污泥罐内,再经过喷雾干燥处理,最终得到彻底干燥的污泥粉末,该污泥粉末可以作为建材、肥料等得到无害化应用。本实用新型的推广利用,可以减少废水排放,提高水资源利用效率,大大减轻对城市环境污染的影响。

    一种硅溶胶制备反应釜
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217341328U

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202123379015.8

    申请日:2021-12-30

    发明人: 肖凯 肖伟

    IPC分类号: B01J19/18 B01J19/00 B01D29/03

    摘要: 本实用新型公开了一种硅溶胶制备反应釜,涉及硅溶胶制备技术领域,该硅溶胶制备反应釜,包括反应釜以及水平设置在反应釜内的搅拌装置,所述反应釜底部的侧壁上设置相连通的料循环排放管,所述料循环排放管端部设置控制其排料通断的电动通断阀,所述料循环排放管出口与循环泵进料口连接,所述循环泵的出料口连接循环管路。本实用新型通过设置搅拌装置、料循环排放管、循环泵、循环管路以及出料管路,重复循环流通,达到从下往上翻搅的搅拌目的,与搅拌装置水平方向搅拌结合,提高搅拌效果,使反应釜内硅粉与碱性液体充分接触,同时易与分散和接触到液面上的硅粉,提高了生产效率,解决了硅粉与碱性液体接触不充分,反应不彻底、时间长的问题。

    一种硅溶胶生产用蒸汽锅炉

    公开(公告)号:CN210107350U

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201920580044.4

    申请日:2019-04-26

    发明人: 肖凯 肖伟

    IPC分类号: F22B31/08 F23J1/06

    摘要: 本实用新型公布了一种硅溶胶生产用蒸汽锅炉,所述锅炉外壳内腔分为蒸汽室和沸水室,所述沸水室设有进液管,所述沸水室内设有燃烧室,所述燃烧室的底部固接有绞龙壳,所述绞龙壳内腔设有绞龙,所述燃烧室与绞龙壳连接部设有落灰孔,所述蒸汽室的顶部设有蒸汽出口,所述蒸汽室内设有烟管,所述烟管的一端穿过隔板与燃烧室相连,所述烟管的另一端穿过锅炉外壳,所述锅炉外壳外部设有燃烧器,所述燃烧器的燃烧管穿过锅炉外壳伸入燃烧室。本实用新型结构简单,使用方便,可以高效的为硅溶胶生产用反应釜提供蒸汽。