一种用于SIC衬底用氧化铝CMP抛光液及其制备方法

    公开(公告)号:CN117186776A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202311024045.8

    申请日:2023-08-15

    IPC分类号: C09G1/02

    摘要: 本发明涉及一种用于SIC衬底用氧化铝CMP抛光液及其制备方法,所述抛光液包括以下重量份的原料:8—10份氧化铝粉末,8—10份悬浮剂,8.5—10份分散剂,4—5份pH值调节剂,5—6份氧化剂,4—5份消泡剂,75—80份去离子水;所述分散剂是脂肪醇醚磷酸酯、脂肪醇醚磷酸酯钾盐、异十三醇磷酸酯、聚乙二醇硬脂酸酯、聚乙二醇月硅酸酯和聚乙二醇油酸酯的一种或几种的混合物。本发明不仅够实现氧化铝微粉的充分分散与稳定悬浮,不存在任何团聚现象,从而避免研磨过程中产生异常划伤,影响抛光质量,而且采用碱性的抛光液,可以有效的保护设备的损伤,延长设备的使用寿命并且加强加工精度。

    一种多级离子交换树脂罐的控制方法、系统及存储介质

    公开(公告)号:CN116571284B

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202310860590.4

    申请日:2023-07-14

    IPC分类号: B01J47/14 G05B11/42

    摘要: 本发明涉及一种多级离子交换树脂罐的控制方法、系统及存储介质,所述方法包括H1.生产线启动,基于各级离子交换树脂罐上的流量传感器,获取硅酸钠溶液的流量数据信息,基于各级离子交换树脂罐上的计时器,获取当前树脂罐的过滤时间数据信息;H2.将所述硅酸钠溶液的流量数据信息和所述当前树脂罐的过滤时间数据信息输入神经网络建立的混合离子交换树脂罐中硅溶胶液体电导率的系统辨识模型进行训练和学习,输出当前树脂罐的电导率数据信息;H3.将所述当前树脂罐的电导率数据信息输入比例阀模型进行仿真训练。本发明不仅能产出电导率低于20μs/cm、PH值为中性的高品质除盐硅溶胶,而且提高了硅溶胶的生产效率。

    高纯度粒径均匀的催化剂用硅溶胶制备方法

    公开(公告)号:CN106395833A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201610780328.9

    申请日:2016-08-31

    发明人: 肖伟 曲其昌

    IPC分类号: C01B33/14

    摘要: 本发明提供一种高纯度粒径均匀的催化剂用硅溶胶制备方法,以多晶硅生产中的副产物四氯化硅为主要原料,与混合醇、有机胺、催化剂等作用,通过优化工艺和加入缓解剂等措施成功的解决了四氯化硅水解不易控制的难题,制备出了粒径为16~20nm、pH值在9.0~10、粘度在3~4mba.s、Na+小于0.01%、稳定性好的高纯度粒径均匀优质催化剂用硅溶胶。同时该方法也可制备出用于精密铸造、石油化工、电子等行业的硅溶胶,为四氯化硅开发出新的利用途径。

    一种应用于硅溶胶上料的灌装优化控制系统

    公开(公告)号:CN118833482A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202410998551.5

    申请日:2024-07-24

    发明人: 肖伟 肖凯

    摘要: 本发明涉及一种应用于硅溶胶上料的灌装优化控制系统,包括硅溶胶储料罐、灌装车和桁架机械手,所述硅溶胶储料罐通过管道与加料泵连接,所述加料泵通过管道与所述桁架机械手连接,所述系统还包括:数据获取模块,用于罐装车搭载容器桶行驶至灌装区域,基于桁架机械手上的摄像头实时获取容器桶的图像数据信息,基于加料泵上的流量传感器实时获取硅溶胶的流量数据信息;图像处理模块,与所述数据处理模块连接。本发明不仅在灌装过程中,能够根据容器桶的体积或形状的不同,对硅溶胶的流量进行优化,保证填料不会溢出或喷出,而且硅溶胶的流量会进行适应性调整,保证灌装的稳定性,提高灌装的效率。

    一种多级离子交换树脂罐的控制方法、系统及存储介质

    公开(公告)号:CN116571284A

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202310860590.4

    申请日:2023-07-14

    IPC分类号: B01J47/14 G05B11/42

    摘要: 本发明涉及一种多级离子交换树脂罐的控制方法、系统及存储介质,所述方法包括H1.生产线启动,基于各级离子交换树脂罐上的流量传感器,获取硅酸钠溶液的流量数据信息,基于各级离子交换树脂罐上的计时器,获取当前树脂罐的过滤时间数据信息;H2.将所述硅酸钠溶液的流量数据信息和所述当前树脂罐的过滤时间数据信息输入神经网络建立的混合离子交换树脂罐中硅溶胶液体电导率的系统辨识模型进行训练和学习,输出当前树脂罐的电导率数据信息;H3.将所述当前树脂罐的电导率数据信息输入比例阀模型进行仿真训练。本发明不仅能产出电导率低于20μs/cm、PH值为中性的高品质除盐硅溶胶,而且提高了硅溶胶的生产效率。

    一种胶体溶液浓缩装置

    公开(公告)号:CN109966922B

    公开(公告)日:2022-11-08

    申请号:CN201910341592.6

    申请日:2019-04-26

    摘要: 一种胶体溶液浓缩装置,其特征在于包括总进液管、总出液管、四个过滤筒,所述过滤筒内设有舱壁将所述过滤筒分为过滤舱和透水舱,所述过滤舱设有进液管和出液管,所述进液管与所述总进液管连接,所述出液管上连接有电动排胶阀,所述过滤舱的内部设有多个超滤芯管,所述超滤芯管两端穿过舱壁进入所述透水舱,所述过滤舱设有电导率检测器,所述透水舱上设有净化液出口。本发明具有自动化程度高,采用多过滤筒,可以连续轮流进行过滤,得到的硅溶胶颗粒大、浓度高,具有广泛的社会效益和市场前景。

    一种硅溶胶合成反应装置

    公开(公告)号:CN221208038U

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202322711398.7

    申请日:2023-10-10

    发明人: 肖伟 肖凯 汤盛峰

    IPC分类号: B01J19/18 B08B9/087

    摘要: 本实用新型的名称为一种硅溶胶合成反应装置,包括釜体、釜盖、轴管和电机,轴管安装在釜体内,电机位于釜盖上,电机的驱动轴连接轴管,还包括伸缩杆、导线和集电环,所述轴管中间位置水平设置有套管,伸缩杆活动插接在套管内,所述伸缩杆远离套管的一端连接有刮板,套管内设置有电磁铁,伸缩杆靠近套管的一端设置有永磁体,电磁铁和永磁体之间存在活动间隙。本实用新型中,硅酸和氨水在合适的温度中充分接触反应,刮板可将粘附在釜内壁上的二氧化硅粒子刮下,使其充分参与到“滚雪球”长大、形成胶体过程中,使最终胶体中5nm的二氧化硅晶种含量符合预设值;防粘黏涂层一定程度上避免刮板自身粘附二氧化硅粒子。

    一种硅溶胶过滤浓缩装置

    公开(公告)号:CN210097404U

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201920579988.X

    申请日:2019-04-26

    发明人: 肖凯 肖伟

    IPC分类号: B01D61/18 B01D63/00

    摘要: 一种硅溶胶过滤浓缩装置,其特征在于包括总进液管、总出液管、四个过滤筒,所述过滤筒内设有舱壁将所述过滤筒分为过滤舱和透水舱,所述过滤舱设有进液管和出液管,所述进液管与所述总进液管连接,所述出液管上连接有电动排胶阀,所述过滤舱的内部设有多个超滤芯管,所述超滤芯管两端穿过舱壁进入所述透水舱,所述过滤舱设有电导率传感器,所述透水舱上设有净化液出口。本实用新型具有自动化程度高,采用多过滤筒,可以连续轮流进行过滤,得到的硅溶胶颗粒大、浓度高,具有广泛的社会效益和市场前景。

    一种硅溶胶生产用新型压滤机

    公开(公告)号:CN209828358U

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201920348311.5

    申请日:2019-03-19

    发明人: 肖凯 肖伟

    IPC分类号: B01D25/12 B01D25/32

    摘要: 本实用新型公开了一种硅溶胶生产用新型压滤机,包括板框单元、压杆、支撑套、压紧机构、前托梁和后托梁,板框单元由滤板、滤框、滤布、头板、尾板构成,板框单元的头板与压杆连接,尾板处腔体设有滤液导出管、料液压入管、二次进料管、反洗进料管,料液压入管的外端与三通管连接有料液导入管、反洗回流管,反洗回流管伸入二次反应箱中,二次反应箱通过泵送管与二次进料管接通,反洗箱通过软管与反洗进料管连通。本实用新型在传统板框式压滤机的基础上进行改进,一方面增设有反洗机构,能够快速清理滤布上形成的滤渣,另一方面增设有二次反应系统,能够将滤渣作为原料再次反应,从而提高原料的利用率,间接降低生产制造成本。

    一种硅溶胶生产浓缩装置
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217016110U

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202123379073.0

    申请日:2021-12-30

    发明人: 肖凯 肖伟

    IPC分类号: B01D61/18

    摘要: 本实用新型公开了一种硅溶胶生产浓缩装置,涉及硅溶胶生产技术领域,该硅溶胶生产浓缩装置,包括多组超滤膜组件、进料总管和出料总管,各组所述超滤膜组件的进料口均连接至进料总管上分流,每组所述超滤膜组件的出料口均独立连接至对应储料罐的入口,所述储料罐由柱形罐、锥形罐以及支管依次沿轴向从上往下衔接组成,所述支管为储料罐的出料端,且支管沿主管方向和侧管方向均设有排料口。本实用新型通过设置储料罐、电动通断阀一、电动通断阀二、电导率检测仪以及取样观察装置,解决了浓缩装置对硅溶胶制备时可能存在浓度不合格、品质不佳的硅溶胶成品,需要将品质不佳的硅溶胶成品与合格的硅溶胶成品检测分离的问题。