一种新型三自由度柔性并联微转台

    公开(公告)号:CN114833801A

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN202210284829.3

    申请日:2022-03-22

    Abstract: 本发明公开了一种新型三自由度柔性并联微转台,包括机架、动平台、一条中心支链以及均匀布置于动平台、机架之间的若干条结构相同的运动支链,机架上设置有若干条均匀布置且相交于一点的水平直线导轨。中心支链是由第一中心立柱、柔性球铰、第二中心立柱组成。若干条结构相同的运动支链均依次由水平直线导轨、压电陶瓷驱动器、移动滑块、第一柔性球铰、连杆、第二柔性球铰组成。本发明由于柔性铰链具有无间隙、无摩擦、和无润滑等一系列优点,使得由柔性铰链作为被动副所构建的机构具有高分辨率和高重复定位精度的特性。本发明的新型三自由度柔性并联微转台可以在工作空间内提供微弧度级运动精度。

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