公开(公告)号：CN101545761A

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200910061970.1

申请日：2009-05-06

Applicant: 湖北工业大学

Inventor： 王选择 ,  于永志 ,  钟毓宁 ,  翟中生 ,  杨练根

IPC: G01B11/26 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种多自由度光学测量系统，可应用于二维小角度(或微位移)的测量。此种系统包括激光发射器、误差敏感单元、光电接收单元以及信号处理单元。误差敏感单元包括两个直角棱镜(2)、(3)；光电接收单元包括光电接收器件(5)和准直物镜(4)；测量位移时须把准直物镜(4)去掉。光电接收器件(5)置于准直物镜(4)的焦平面上，半导体激光器(1)发出的基准光束经直角棱镜(3)和直角棱镜(2)反射后，通过准直物镜(4)将其光斑成像在光电接收器件(5)的光敏面上，其中半导体激光器(1)和光电接收单元安装在固定位置，而误差敏感单元由夹具装夹后安装在被测物体上，随被测物体同步移动。此系统在测量过程中的光程是恒定的，从而消除由于激光发散角而引起的远近光点光束直径不同的影响。通过光斑在光敏面上的位移量计算出被测物体在运动过程中小角度(或微位移)的变化。误差敏感单元可以安装在导轨、工作台等装置上，实现其角度(或位移)的实时动态测量，测量范围大、精度高，可广泛运用与生产、检测等领域。