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公开(公告)号：CN107764466B
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN201711146797.6
申请日：2017-11-17
Applicant: 清华大学
IPC: G01L21/00
Abstract: 本发明涉及压力传感器领域，公开了一种基于石墨烯的压阻式真空计，若干个石墨烯传感元件，包括多个堆叠的石墨烯片；载体，包括柔性载体，柔性载体包覆于石墨烯传感元件的外表面，并与石墨烯传感元件紧密贴合；电极，电极与石墨烯传感元件的外表面连接，构成监测电流的回路。本发明还公开一种基于石墨烯的压阻式真空计的制作方法，包括制作石墨烯传感元件，连接电极和载体包裹。本发明提供的一种基于石墨烯的压阻式真空计及其制作方法，利用石墨烯传感元件的方式进行真空度的测量，其具有灵敏度高、成本低、响应速度快、测量误差小等优点，具有广阔的市场应用价值和前景。
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公开(公告)号：CN107764466A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201711146797.6
申请日：2017-11-17
Applicant: 清华大学
IPC: G01L21/00
CPC classification number: G01L21/00
Abstract: 本发明涉及压力传感器领域，公开了一种基于石墨烯的压阻式真空计，若干个石墨烯传感元件，包括多个堆叠的石墨烯片；载体，包括柔性载体，柔性载体包覆于石墨烯传感元件的外表面，并与石墨烯传感元件紧密贴合；电极，电极与石墨烯传感元件的外表面连接，构成监测电流的回路。本发明还公开一种基于石墨烯的压阻式真空计的制作方法，包括制作石墨烯传感元件，连接电极和载体包裹。本发明提供的一种基于石墨烯的压阻式真空计及其制作方法，利用石墨烯传感元件的方式进行真空度的测量，其具有灵敏度高、成本低、响应速度快、测量误差小等优点，具有广阔的市场应用价值和前景。
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公开(公告)号：CN207487885U
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201721542148.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 清华大学
IPC: G01L21/00
Abstract: 本实用新型涉及压力传感器领域，公开了一种基于石墨烯的压阻式真空计，若干个石墨烯传感元件，包括多个堆叠的石墨烯片；载体，包括柔性载体，柔性载体包覆于石墨烯传感元件的外表面，并与石墨烯传感元件紧密贴合；电极，电极与石墨烯传感元件的外表面连接，构成监测电流的回路。本实用新型提供的一种基于石墨烯的压阻式真空计，利用石墨烯传感元件的方式进行真空度的测量，其具有灵敏度高、成本低、响应速度快、测量误差小等优点，具有广阔的市场应用价值和前景。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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