• Patent Title: 一种基于石墨烯的压阻式真空计及其制作方法
  • Patent Title (English): Grapheme-based piezoresistive vacuum gauge and manufacturing method thereof
  • Application No.: CN201711146797.6
    Application Date: 2017-11-17
  • Publication No.: CN107764466A
    Publication Date: 2018-03-06
  • Inventor: 任天令庞于靳馥华杨轶
  • Applicant: 清华大学
  • Applicant Address: 北京市海淀区清华园北京100084-82信箱
  • Assignee: 清华大学
  • Current Assignee: 清华大学
  • Current Assignee Address: 北京市海淀区清华园北京100084-82信箱
  • Agency: 北京路浩知识产权代理有限公司
  • Agent 王莹; 吴欢燕
  • Main IPC: G01L21/00
  • IPC: G01L21/00
一种基于石墨烯的压阻式真空计及其制作方法
Abstract:
本发明涉及压力传感器领域,公开了一种基于石墨烯的压阻式真空计,若干个石墨烯传感元件,包括多个堆叠的石墨烯片;载体,包括柔性载体,柔性载体包覆于石墨烯传感元件的外表面,并与石墨烯传感元件紧密贴合;电极,电极与石墨烯传感元件的外表面连接,构成监测电流的回路。本发明还公开一种基于石墨烯的压阻式真空计的制作方法,包括制作石墨烯传感元件,连接电极和载体包裹。本发明提供的一种基于石墨烯的压阻式真空计及其制作方法,利用石墨烯传感元件的方式进行真空度的测量,其具有灵敏度高、成本低、响应速度快、测量误差小等优点,具有广阔的市场应用价值和前景。
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