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公开(公告)号：CN2051359U
公开(公告)日：1990-01-17
申请号：CN89213612.X
申请日：1989-07-08
Applicant: 清华大学
Inventor： 薛实福 , 李庆祥 , 汪春庆 , 许先海
IPC: G02B7/28
Abstract: 一种内光路偏心光束自动调焦仪，采用内光路偏心光来作为检测光源，用二象限硅光电池来接收离焦信号，其光电检测头安装在显微镜本体的构件上。可用于显微电测量仪，线宽轮廓测量仪，光盘等的自动调焦。本自动调焦仪调焦范围大，可达1000μm，调焦精度高，≤±0.1μm。
