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公开(公告)号：CN1080394A
公开(公告)日：1994-01-05
申请号：CN93105072.3
申请日：1993-05-20
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种球冠形栅网参数测量方法及测量仪，属光学测量仪器，该测量方法可测量球冠形栅网的参数及网间距离，采用光学物镜对双(多)栅网多次调焦，记录每次成象清晰后的物镜位置数值，两个位置数值之差即为该两个栅网之间的间距。本栅网参数测量仪由精密机械系统、光学系统、步进电机及其驱动系统、光栅定位测量系统、信号获取系统五部分组成。通过计算机软件处理可以自动调焦并打印输出测得的栅网参数值，本栅网参数测量仪测得的精度高，可以提高行波管的性能。
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公开(公告)号：CN1016895B
公开(公告)日：1992-06-03
申请号：CN89108641.2
申请日：1989-11-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种表面三维形貌非接触测量仪，属光学测量仪器，用于测量表面微观几何形貌及粗糙度，本测量仪主要由光源，起偏器，分光棱镜，显微物镜，1/4波片，检偏器，光电面阵探测器等组成，与已有技术相比，本发明的优点在于测量分辨率高，移相器件的结构简单，移相粗度较高，两束干涉光通过同一光路，受到外界干扰相同，对于涉光强影响较小、因此系统对机械振动和强度的影响不敏感，在一般生产环境中就可以使用本仪器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1019416B
公开(公告)日：1992-12-09
申请号：CN89103380.7
申请日：1989-05-25
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种自扫描光电二极管列阵单频稳频激光干涉测长仪，用自扫描光电二极管列阵(SSPDA)对迈克尔逊干涉系统的条纹进行扫描，使SSPDA的输出信号产生频差，再按频差数值来求得所测量的移动距离(长度)。由于采用频差来测长，所以比一般单频激光干涉仪的抗干扰能力强，由于采用了单频稳频激光器，所以设备较一般双频激光干涉仪简单，测量精度高。
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公开(公告)号：CN1051975A
公开(公告)日：1991-06-05
申请号：CN89108641.2
申请日：1989-11-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种表面三维形貌非接触测量仪，属光学测量仪器，用于测量表面微观几何形貌及粗糙度。本测量仪主要由光源，起偏器，分光棱镜，显微物镜，1/4波片，检偏器，光电面阵探测器等组成，与已有技术相比，本发明的优点在于测量分辨率高，移相器件的结构简单，移相精度较高，两束干涉光通过同一光路，受到外界干扰相同，对干涉光强影响较小，因此系统对机械振动和强度的影响不敏感，在一般生产环境中就可以使用本仪器。
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公开(公告)号：CN1047569A
公开(公告)日：1990-12-05
申请号：CN89103380.7
申请日：1989-05-25
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种自扫描光电二极管列阵单频稳频激光干涉测长仪，用自扫描光电二极管列阵(SSPDA)对迈克尔逊干涉系统的条纹进行扫描，使SSPDA的输出信号产生频差，再按频差数值来求得所测量的移动距离(长度)。由于采用频差来测长，所以比一般单频激光干涉仪的抗干扰能力强，由于采用了单频稳频激光器，所以设备较一般双频激光干涉仪简单，测量精度高。
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