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公开(公告)号：CN106680906A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201610926129.4
申请日：2016-10-24
Applicant: 清华大学
CPC classification number: G02B3/00 , B82B3/0004 , B82Y40/00 , F16C32/0603 , F16C2370/20 , G03F7/2049
Abstract: 本发明提出了等离子体透镜、空气轴承、飞行头、纳米加工系统及其应用。该用于飞行头的等离子体透镜包括：基体，该基体的表面设置有金属薄膜；中心小孔，该中心小孔形成在基体的表面且贯穿金属薄膜；以及多个圆槽，该多个圆槽形成在基体的表面且贯穿金属薄膜，并且多个圆槽与中心小孔构成同心圆；其中，金属薄膜的厚度为30～100nm，多个圆槽的槽周期为300～400nm、槽宽度为100～200nm。本发明所提出的等离子体透镜，能够减小聚束光斑的同时增大光强，可使光刻加工的聚束光被限制在更小的范围内。
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公开(公告)号：CN109722323B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201910007079.3
申请日：2019-01-04
Applicant: 清华大学
IPC: C10M141/02 , C10N30/06 , C10N30/12
Abstract: 本发明公开了一种可实现超低摩擦系数(低于0.01)的聚醚水滑石混合溶液的制备方法，属于润滑材料领域。采用水热法制备得到的超薄纳米水滑石薄片表面带有亲水基团，按0.5％～2％比例在水中均匀分散后，可制备得到一种均匀半透明的胶体溶液，随后以20～50％的比例与聚醚润滑液进行混合。本发明的聚醚水滑石混合溶液中超薄纳米水滑石片的纵向尺寸相较于润滑膜的厚度而言极小，该水滑石样品的加入使得摩擦副表面在跑合阶段能够得到平坦化以及抛光，从而可以快速地完成跑合过程，与聚醚水溶液结合，实现超低摩擦系数，并且提高其最终承载能力。
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公开(公告)号：CN106680906B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201610926129.4
申请日：2016-10-24
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出了等离子体透镜、空气轴承、飞行头、纳米加工系统及其应用。该用于飞行头的等离子体透镜包括：基体，该基体的表面设置有金属薄膜；中心小孔，该中心小孔形成在基体的表面且贯穿金属薄膜；以及多个圆槽，该多个圆槽形成在基体的表面且贯穿金属薄膜，并且多个圆槽与中心小孔构成同心圆；其中，金属薄膜的厚度为30～100nm，多个圆槽的槽周期为300～400nm、槽宽度为100～200nm。本发明所提出的等离子体透镜，能够减小聚束光斑的同时增大光强，可使光刻加工的聚束光被限制在更小的范围内。
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公开(公告)号：CN109722323A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201910007079.3
申请日：2019-01-04
Applicant: 清华大学
IPC: C10M141/02 , C10N30/06 , C10N30/12
Abstract: 本发明公开了一种可实现超低摩擦系数(低于0.01)的聚醚水滑石混合溶液的制备方法，属于润滑材料领域。采用水热法制备得到的超薄纳米水滑石薄片表面带有亲水基团，按0.5％～2％比例在水中均匀分散后，可制备得到一种均匀半透明的胶体溶液，随后以20～50％的比例与聚醚润滑液进行混合。本发明的聚醚水滑石混合溶液中超薄纳米水滑石片的纵向尺寸相较于润滑膜的厚度而言极小，该水滑石样品的加入使得摩擦副表面在跑合阶段能够得到平坦化以及抛光，从而可以快速地完成跑合过程，与聚醚水溶液结合，实现超低摩擦系数，并且提高其最终承载能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105296132A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510829761.2
申请日：2015-11-25
Applicant: 清华大学
IPC: C10M173/02 , C10M177/00
Abstract: 本发明公开了一种具备超润滑性能的水基润滑剂及其制备方法，属于润滑材料领域。所述水基润滑剂由5％-70wt％的聚醚和30-95wt％的水组成。其中，聚醚的分子量为100g/mol-5000g/mol，聚合单体为环氧烷类。水基润滑剂的制备方法为：将聚醚按5％-70％的质量分数加入水中，得到聚醚的水溶液；用超声波处理，使聚醚与水完全互溶，得到所述水基润滑剂。本发明的水基润滑剂操作方便、安全可靠；原材料成本低廉易得、环境友好无污染。使用本发明制备的水基润滑剂能够明显有效地降低摩擦副间的摩擦系数，使其降至0.01以下的超润滑范围，具有广泛的应用范围和巨大的实用价值。
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公开(公告)号：CN105181583A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510604724.1
申请日：2015-09-21
Applicant: 清华大学
IPC: G01N19/04
Abstract: 本发明公开了一种环境可控的划痕实验在位测试装置及其控制方法，其中，测试装置包括：二维力传感器；声发射传感器；划痕头驱动器，用于驱动划痕头以一定速度移动，并线性增大初始载荷，从而在待测物表面产生划痕；环境参数调节模块，用于调节待测物所处环境的环境参数；驱动器控制模块，以根据二维力传感器反馈的载荷控制划痕头在一定温度和湿度下水平移动；变倍显微镜，用于检测划痕的形貌；控制模块，用于得到在一定温度和湿度下的结合力，以得到待测物破裂时的形貌。本发明实施例的装置可以有效地判断临界载荷，并且提高了划痕实验的准确性，准确地实现在给定环境下划痕实验的测量。
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公开(公告)号：CN105135555A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510598814.4
申请日：2015-09-18
Applicant: 清华大学
CPC classification number: F24F3/14
Abstract: 本发明公开了一种实验台的湿度环境监控装置，包括：供水装置，包括水位控制模块和加湿罐，水位控制模块用于调整加湿罐中的水位；环境湿度调整装置，包括湿度调整模块、加湿器和加湿盒，加湿器设置在加湿罐中，用于产生气态水分子，加湿盒用于改变实验台的环境湿度，湿度调整模块用于调整输入加湿盒的水产生气态水分子和干燥空气的比例；控制装置，控制装置分别与湿度调整模块和加湿器相连，以根据加湿盒的湿度信号控制湿度调整模块和加湿器的启动和关闭。本发明实施例的装置可以对实验台进行有效的湿度控制，具有适度控制准确可靠的优点。本发明公开了一种实验台的湿度环境监控方法。
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公开(公告)号：CN104893786B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201510282938.1
申请日：2015-05-28
Applicant: 清华大学
IPC: C10M125/10 , C10M173/02 , C10M177/00 , C10N30/06
Abstract: 一种水滑石纳米添加剂制备方法,所述水滑石纳米添加剂的粒径范围是1纳米至100纳米；所述制备方法包括以下步骤：1)将可溶性的二价及三价无机金属盐溶于水中配成A溶液，二价金属离子与三价金属离子的摩尔比为2～4；2)将分散剂加入有机溶剂中配成B溶液；B溶液与A溶液的质量比例为9～1。本发明水滑石纳米添加剂制备方法简单易操作，实用性强，性能优越，可靠性高。使用本添加剂制成水基润滑液后，在摩擦过程中水滑石能及时进入接触区，有效避免粗糙峰的直接接触，防止磨损，大大提高了减摩耐磨性能。
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公开(公告)号：CN104893786A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510282938.1
申请日：2015-05-28
Applicant: 清华大学
IPC: C10M125/10 , C10M173/02 , C10M177/00 , C10N30/06
Abstract: 一种水滑石纳米添加剂制备方法,所述水滑石纳米添加剂的粒径范围是1纳米至100纳米；所述制备方法包括以下步骤：1)将可溶性的二价及三价无机金属盐溶于水中配成A溶液，二价金属离子与三价金属离子的摩尔比为2～4；2)将分散剂加入有机溶剂中配成B溶液；B溶液与A溶液的质量比例为9～1。本发明水滑石纳米添加剂制备方法简单易操作，实用性强，性能优越，可靠性高。使用本添加剂制成水基润滑液后，在摩擦过程中水滑石能及时进入接触区，有效避免粗糙峰的直接接触，防止磨损，大大提高了减摩耐磨性能。
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