公开(公告)号：CN104046964A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410310128.8

申请日：2014-07-01

Applicant: 清华大学

Inventor： 程嘉 ,  曹自立 ,  季林红 ,  吴晓晶 ,  路益嘉 ,  张可 ,  周竞辉

IPC: C23C16/46

Abstract: 本发明涉及电磁感应加热领域，特别涉及一种热功率密度径向分布可调的电磁感应加热装置，该装置主要由加热基座、基本线圈、叠加线圈、线路切换装置等组成。基本线圈匝数、各匝高度、各匝间距均可调，叠加线圈位于基本线圈正下方，由多层多匝平面线圈串联而成，最上层线圈最内匝的末端与基本线圈最内匝的末端相连，各匝线圈的高度可调。线路切换装置使交流电路存在两种反复交替变换的子状态，子状态各自的持续时间可调节，各子状态热功率密度分布配合不同的权重叠加得到不同交流电路合状态在加热基座中产生的热功率密度分布，大幅减少了仿真工作量。本发明对于研究衬底温场与加热基座热功率密度场间内在联系及灵活调节衬底温度分布有重要意义。

公开(公告)号：CN104046964B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201410310128.8

申请日：2014-07-01

Applicant: 清华大学

Inventor： 程嘉 ,  曹自立 ,  季林红 ,  吴晓晶 ,  路益嘉 ,  张可 ,  周竞辉

IPC: C23C16/46

Abstract: 本发明涉及电磁感应加热领域，特别涉及一种热功率密度径向分布可调的电磁感应加热装置，该装置主要由加热基座、基本线圈、叠加线圈、线路切换装置等组成。基本线圈匝数、各匝高度、各匝间距均可调，叠加线圈位于基本线圈正下方，由多层多匝平面线圈串联而成，最上层线圈最内匝的末端与基本线圈最内匝的末端相连，各匝线圈的高度可调。线路切换装置使交流电路存在两种反复交替变换的子状态，子状态各自的持续时间可调节，各子状态热功率密度分布配合不同的权重叠加得到不同交流电路合状态在加热基座中产生的热功率密度分布，大幅减少了仿真工作量。本发明对于研究衬底温场与加热基座热功率密度场间内在联系及灵活调节衬底温度分布有重要意义。

公开(公告)号：CN203960329U

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201420360508.8

申请日：2014-07-01

Applicant: 清华大学

Inventor： 程嘉 ,  曹自立 ,  季林红 ,  吴晓晶 ,  路益嘉 ,  张可 ,  周竞辉

IPC: C23C16/46

Abstract: 本实用新型涉及电磁感应加热领域，特别涉及一种热功率密度径向分布可调的电磁感应加热装置，该装置主要由加热基座、基本线圈、叠加线圈、线路切换装置等组成。基本线圈匝数、各匝高度、各匝间距均可调，叠加线圈位于基本线圈正下方，由多层多匝平面线圈串联而成，最上层线圈最内匝的末端与基本线圈最内匝的末端相连，各匝线圈的高度可调。线路切换装置使交流电路存在两种反复交替变换的子状态，子状态各自的持续时间可调节，各子状态热功率密度分布配合不同的权重叠加得到不同交流电路合状态在加热基座中产生的热功率密度分布，大幅减少了仿真工作量。本实用新型对于研究衬底温场与加热基座热功率密度场间内在联系及灵活调节衬底温度分布有重要意义。