多通路液态金属微流道结构制备方法

    公开(公告)号:CN118404840A

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202410456764.5

    申请日:2024-04-16

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 提供了一种多通路液态金属微流道结构制备方法,其包括以下步骤:S1:使用软光刻法和/或模板法制备形成有一个或多个微流道的微流道薄膜。S2:向所述微流道薄膜的所述微流道注射液态金属,形成一个或多个液态金属通路。S3:剪裁或切割所述微流道薄膜并截断所述一个或多个液态金属通路中的至少一个液态金属通路,形成包括多个所述液态金属通路的液态金属微流道结构。

    基于折纸结构的柔性电容式压力传感器

    公开(公告)号:CN114018447B

    公开(公告)日:2022-07-19

    申请号:CN202111289698.X

    申请日:2021-11-02

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本申请提供了一种基于折纸结构的柔性电容式压力传感器,其包括:折纸部本体,所述折纸部本体的表面为多个互相弯折连接的折纸面,在所述折纸部本体受到沿着其高度方向的压力时,所述折纸部本体沿其长度方向和宽度方向的尺寸增大;第一电极,所述第一电极设置在所述折纸部本体的一侧的折纸面上;第二电极,所述第二电极设置在所述折纸部本体的另一侧表面上。基于折纸结构的柔性电容式压力传感器能够在受到载荷时发生变形,进而调整所述第一电极和所述第二电极的相对位置关系,电容具有明显的变化量,增大了电容式压力传感器的灵敏度。

    基于折纸结构的柔性电容式压力传感器

    公开(公告)号:CN114018447A

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202111289698.X

    申请日:2021-11-02

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本申请提供了一种基于折纸结构的柔性电容式压力传感器,其包括:折纸部本体,所述折纸部本体的表面为多个互相弯折连接的折纸面,在所述折纸部本体受到沿着其高度方向的压力时,所述折纸部本体沿其长度方向和宽度方向的尺寸增大;第一电极,所述第一电极设置在所述折纸部本体的一侧的折纸面上;第二电极,所述第二电极设置在所述折纸部本体的另一侧表面上。基于折纸结构的柔性电容式压力传感器能够在受到载荷时发生变形,进而调整所述第一电极和所述第二电极的相对位置关系,电容具有明显的变化量,增大了电容式压力传感器的灵敏度。

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