具有纳米尺度空间分辨率的电荷陷阱参数定量测试方法

    公开(公告)号:CN117871613A

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN202311755070.3

    申请日:2023-12-19

    申请人: 清华大学

    IPC分类号: G01N27/00

    摘要: 本申请提供一种具有纳米尺度空间分辨率的电荷陷阱参数定量测试方法。该方法包括:基于所述待测样品的表面形态获取至少一个待测的目标区域;基于所述待测样品的电荷注入状态,获取所述目标区域的表面电势;基于所述表面电势获取所述目标区域的电荷陷阱参数。本申请的方法,增加了实现对纳米级的电介质材料的进行电荷陷阱参数测试,能得到用于准确反映电介质材料电性能的电荷陷阱参数。